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| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 建材,电子,汽车,电气,综合 |
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产品简介
详细介绍
计量检测高精度双频激光干涉仪
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求；
以光刻机用激光干涉测量系统为基础，
在保留高稳定性、高精度、高采样速率高性能的同时，
将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里，
一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验；
典型频差6±1MHz，测速高达2m/s。
系统组成：
LH2000激光测头及附件
环境补偿单元
测量软件
测量镜组（选配：位置度测量镜组、直线度测量镜组、角度测量镜组等）
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
参数指标：
| 激光头尺寸 | 330mm×110mm×95mm | |
| 激光头重量 | 3.3kg | |
| 激光光束直径 | 6mm | |
| 激光功率 | >0.5mw | |
| 真空波长 |
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| 频差 | 可定制 典型值6.0MHz | |
| +15℃~+35℃ | |
| 激光稳频精度 | ±0.02ppm | |
| 线性测量范围 | 40m | |
| 线性测量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000环境补偿器) | |
| 分辨率 | 1nm | |
| 测量速度 | 2m/s | |
| 工作电源 | 220V/50Hz | |
| 储存温度范围 | +15℃~+45℃ |