小流量气体流量计

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更新时间：2019-07-25 11:58:08浏览次数：4102

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产品简介

D07-15小流量气体流量计用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-15气体质量流量控制器 产品简介：

★高稳流型
★小体积，低波动
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用P20金手指插头

D07-15气体质量流量控制器用途:

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-15气体质量流量控制器技术参数：

产品型号	D07-15
产品类型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm
产品精度	±1％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% F.S.
响应时间	≤4sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	P20 Card Edge
工作压差范围	(0.1～0.3) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套Φ6,双卡套Φ3,VCR1/4”,双卡套1/4”
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	- 无 -
重量	0.85Kg

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