气体流量计

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更新时间：2019-07-25 11:52:06浏览次数：3405

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产品简介

D07-7CM气体流量计标准接头形式：双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8",φ4（内）?软管接头,VCR1/4",双卡套1/4",φ6（内）?软管接头

D07-7CM气体流量计技术参数：

产品型号	D07-7CM
产品类型	普通型
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度	±1.5％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤10sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	无阀
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Female
工作压差范围	＜0.01 MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	CE
重量	0.92 Kg

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