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产品详细

数字式气体质量流量控制器

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具体成交价以合同协议为准

型号 CS200C
品牌 其他品牌
厂商性质 生产商
所在地 北京市

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更新时间：2020-06-20 09:31:44浏览次数：8501

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产品简介

应用领域	综合

CS200C数字式气体质量流量控制器采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品*快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差小化，所需流量更加精准。

CS200质量流量控制器&流量计

CS200C数字式气体质量流量控制器，采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品*快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差小化，所需流量更加精准。

优势

• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。

• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。

• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合通用的SEMI标准。

• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。

• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。

• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。

CS200C数字式气体质量流量控制器技术参数

CS200
型号	CS200-A		CS200-C		CS200-D
阀类型	常开(流量规格 ≤ 30SLM) 或常闭	无	常开或常闭	无	常开或常闭	无
流量规格(N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1sec		≤ 0.8sec
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
大工作压力	0.45MPa
温度系数	零点： ≤±0.05% F.S./℃；调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM 调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM		零点： ≤±0.02% F.S./℃；调节时： ≤±0.05% F.S./℃
耐压强度	3MPa
漏率	1×10-10 Pa·m3 / sec He		1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	氟橡胶		金属密封
工作环境温度	（5～45）℃		（0～50）℃
输入信号	数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无	数字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无	数字： RS485 或DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA	无
输出信号	数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)
表面化学成分	常态		Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）		常态
表面粗糙度	25 Ra		10 Ra		25 Ra
标准接头形式	双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头； φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;		双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；VCR1/4 阳接头； 1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头
电源接头形式	D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1.2Kg	1Kg

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