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产地类别 | 进口 | 产品种类 | 正置 |
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价格区间 | 5万-10万 | 配备图像分析系统 | 否 |
大平台显微镜奥林巴斯OLYMPUS MX61L
OLYMPUS MX61/61L 产品特点缩短检查用时,提高检查效率自动聚焦附件 MX-AF透射光检查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPD,MASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。高反差,更高分辨率,更高倍率检查用于光刻胶残留检查的荧光观察方式共聚焦附件 U-CFU荧光分光镜模块共聚焦光学系统可以提供更高的反差和分辨率,分辨率可达0.18μm,并可对多层线条的器件分层对焦,获得高分辨率,高反差的共焦图像。
备有U.B.G等多种荧光方式可选,用于光颗胶残留以及OLED检查。方便的通讯接口用于显微镜倍率和孔径光阑的控制和参数获得 RS232C用于晶圆以及器件,甚至焊脚的内部检查 近红外线观察附件MX61/MX61L标配包括一个RS232C接口,使得用PC控制显微镜电动部分成为可能,并且可以实现使工艺线上的几台显微镜都在同样的设定状态下工作。包括专门的红外物镜等附件,对从可见光到近红外波段光线的像差做矫正,用于IC深层或内部检查,可实现对WAFER BUMP的全面检查。
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