精密研磨抛光系统 返回列表页

Logitech PM5精密研磨抛光系统是带有一个工作站的台式机，适用于科学研究水平的研磨和抛光，能够完成4英寸及以下尺寸样品的小批量处理。

具有加工样品*性高、规格水平高、表面光洁等特点。

精密研磨抛光系统特点：

1、完善的控制系统

在半导体、光电、光学以及地质等应用领域，Logitech PM5是值得信赖的选择，典型的应用包括：晶片背减、光纤及波导器件制备、激光棒抛光、MEMS等。无论是对何种高质量表面平整度控制的需求，PM5均能给予用户满意的处理效果。

研磨/抛光的所有功能，包括盘转速、摆臂设定、滴料速度，均显示在操作控制显示屏，通过操纵杆对操作控制显示屏的参数进行设定。

2、自动化功能增强

机器运行内置计时器，在无人看管时可以设定计时器，计时器时间设定范围0-10小时，在处理材料完成时机器自动停止（抛光状态下报警不停机），控制系统向操作员发出蜂鸣提醒。

为了进一步提高易用性，Logitech PM5部分配备真空管道，以联通真空装置，VS2真空系统单元独立放置，在提供真空系统同时具有过滤防污染的功能。可以看到，Logitech的全套备件配置使用为用户带来了足够大的加工灵活性。

Logitech PM5夹具具有在线监测功能，可实时显示样品处理的去除量，监测精度1um；为适应各种大小尺寸的样品处理，夹具对晶片作用压力可以连续调节，通过增加夹具压力块，压力调节范围zui大可达0.1 - 7Kg；夹具zui大处理样品尺寸4英寸。

3、直观的操作控制系统

快速、高效的研磨/抛光盘，便于拆卸，方便用户在不同的研磨过程之间的快速转换，以及研磨和抛光工艺的变换。这种灵活性使PM5成为实验室空间有限的情况下的首要选择。

Logitech PM5具有耐化学腐蚀的配置，适合在腐蚀性物质环境中使用，如砷化镓抛光中常常使用的Chemlox抛光液。耐腐蚀的设计保障了系统在酸碱工作环境中运行。

4、精准的滴料系统

磨料自动填料系统通过一个可调导料槽，确保精准的控制料液流从料桶滴入研磨盘或抛光盘。滴料的控制设计，具有很高的经济性，特别适合多样化研究使用。

此外，可拆卸的料液托盘导出废料，使其流入废料桶，从而保障设备安全稳定的长时间持续运行，同时减轻设备的清理工作。

5、完整的参数控制，确保结果*

研磨/抛光的工艺过程中，盘的表面情况会在一定程度上反馈在样品表面，通过控制研磨盘的盘面型从而提高样品平整度；通过保持抛光盘的表面状态从而提高样品表面质量。

为获得*结果，设备往复运动的速度和摆幅可以精确的控制样品处理效果，从而提高了结果的高重复性和高*性。

技术规格：