美国mks质量流量控制器

一、美国mks G系列GE50A 质量流量控制器介绍：

(1)、流速从5到50，000sccm

(2)、密封和阀塞选项，包括氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或卡雷斯

(3)、多种数字(以太网、设备网™、Profibus®、PROFINET和RS485)或模拟(0-5VDC或4-20mA)I/O

(4)、标准闭合电导泄漏率小于满量程的0.1%

(5)、小于750毫秒的建立时间

(6)、G系列GE50A数控质量流量控制器可配备RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET®或DeviceNet™I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

二、类型质量流量控制器技术参数：

满量程流量范围5-50，000SCCM

控制范围满量程的2%至100%

密封材料氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或卡雷斯

模拟连接器9针或15针D超小型

最大入口压力150磅/平方英寸

正常工作压差10至5000sccm;10至40个PSID，10000至20000个SCCM;15至40个PSID，30000至50000SCCM;25至40psid

耐压1000磅/平方英寸

爆破压力1500磅/平方英寸

典型精度20%至100%满量程时为设定点的±1%，2%至20%满量程时为满量程的±0.2%

重复性±0.3%的读数

分辨率满量程的0.1%

零温度系数<满量程的0.05%/°C

量程温度系数读数的<0.08%/°C

入口压力系数<读数/平方英寸的0.02%

典型建立时间<750毫秒，典型值高于5%满量程

预热时间30分钟

工作温度10°C至50°C

储存湿度0至95%相对湿度，无冷凝

储存温度-20°至80°C

外部泄漏完整性<1x10-09(SCC/秒He)

通过关闭阀门实现泄漏完整性高达10K的阀门<40psig时满量程的0.1%，大气压40psig时高达20K-50K阀

接液材料316LS.S.VAR，316S.S.，Elgiloy®，镍

表面光洁度16μ英寸平均Ra

重量3磅(1.4千克)

合规中欧

三、美国mksG系列GE50A质量流量控制器原理：

(1)、多种数字和模拟接口选择

GE50A数控MFC提供模拟或数字I/O。数字控制电子设备采用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点提供快速且可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。GE50A的模拟和数字I/O可以轻松用于替换1179AMFC的相同I/O类型。所有GE50A都包括Modbus作为可用的辅助I/O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。

(2)、标准3英寸基底面

GE50A利用5sccm至50slm流量范围内MFC常用的标准3英寸占地面积，无需修改现有的气体管路配置即可使用。

(3)、所有金属润湿表面

GE50A的设计最大限度地减少了弹性体的使用。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。否则，所有润湿表面都是金属。GE50A标配氟橡胶密封件以及丁腈橡胶、氯丁®橡胶®、EPMD或Kalrez®选项，允许该设备与需要这些替代品之一的气体一起使用

(4)、设定值精度百分比

随附的数字校准可在满量程流量范围的20%至100%的N2校准气体下产生1%的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，而不是相对于满量程规定的精度。对于2%至20%满量程的质量流量，精度为满量程的±0.2%。

(5)、嵌入式用户界面

嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而降低了库存要求。您还可以监视MFC功能并原位收集性能数据。