美国mks高性能压力传感器

美国mks高性能压力传感器

MKS Baratron® DA01B DeviceNet 绝对电容压力计是一款双输出绝对真空传感器，具有 DeviceNet™™ 数字通信和传统的 0-10 VDC 模拟输出信号。提供加热和非加热版本。

未加热或控制至 45°C、80°C 或 100°C

设备网络™通信和与压力成比例的 0-10 VDC 输出

满量程范围为 1000 至 1 托（未加热），1000 至 0.1 托/毫巴

全焊接铬镍铁合金和铬镍铁合金®传感器，具有耐腐蚀性

提供标准或蚀刻传感器

DA02B EtherCAT® Baratron®电容压力计继续将高性能发展到网络系统中，使用行业标准的EtherCAT数字通信连接到复杂的过程工具。基于经过验证的627C和628C以太网配备Baratron产品，EtherCAT Baratron压力计符合当前的SEMI® EtherCAT通用设备配置文件，设计用于高级处理系统。

未加热或控制至 45°C、80°C 或 100°C

以太网CAT®通信和0-10 VDC输出与压力成比例

满量程测量范围为 0.1 至 1000 Torr（13.3 Pa 至 133.3 kPa）

提供标准或蚀刻传感器

全焊接铬镍铁合金和铬镍铁合金®传感器，具有耐腐蚀性

Baratron® 622D 非加热绝对电容压力计是 MKS 最新的模拟电容式高性能真空和压力传感器。它需要 ±15VDC 输入电压，并提供与压力成线性的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。

0 至 10 VDC 比例模拟输出，带接线端子

直接测量腔室总压力，与气体类型无关

长期输出稳定性，实现工艺可重复性

铬镍铁合金和铬镍®合金®基本传感器结构

高过压限制确保系统事故期间的可靠性

以读数百分比，以获得最佳准确性并提高工艺产量

DA01B 0.1-1000 托加热和未加热 Baratron® 装置净电容压力计

未加热或控制至 45°C、80°C 或 100°C

设备网络™通信和与压力成比例的 0-10 VDC 输出

满量程范围为 1000 至 1 托（未加热），1000 至 0.1 托/毫巴

DA02A 巴拉特龙醚类 0.1 至 1000 托加热电容压力计

DA02B 0.1-1000 Torr 加热和未加热 Baratron® EtherCAT® 电容压力计

未加热或控制至 45°C、80°C 或 100°C

以太网CAT®通信和0-10 VDC输出与压力成比例

满量程测量范围为 0.1 至 1000 Torr（13.3 Pa 至 133.3 kPa）

DA06A 带 EtherCAT® 的 3 倍频程温控压子®电容压力计

3 倍频程测量减少了对多个压力计的需求

符合真空计的最新 SEMI® EtherCAT® 设备配置文件

温度控制在 45°C、80°C 或 100°C

600系列加热绝对压压子电容压力计

624H 1-1，000 托，加热 （45°C） 带跳变点的绝对压子®电容压力计

温度控制在 45°C，读数精度为 0.12%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

两个可调过程跳变点继电器

600系列加热绝对压压子电容压力计

625H 1-1000 Torr，加热 （100°C） 带跳变点的绝对压子®电容压力计

温度控制在 100°C，读数精度为 0.25%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

两个可调过程跳变点继电器

627F/628F 加热绝对压压子电容压力计

627H 0.02-25，000 托，加热 （45°C） 绝对压子®电容压力计

温度控制在 45°C，读数精度为 0.12%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

满量程范围低至 20 mTorr，可实现精确的低压测量

627F/628F 加热绝对压压子电容压力计

628H 0.05-25，000 托，加热 （100°C） 绝对压子®电容压力计

温度控制在 100°C，读数精度高达 0.25%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

满量程范围低至 50 mTorr，用于精确的低压测量

600系列加热绝对压压子电容压力计

629H 0.02-25，000 托，加热（45 或 100°C） 绝对压子®电容压力计

温度控制在 45°C 或 100°C，读数精度高达 0.12%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

满量程范围低至 20 mTorr，可实现精确的低压测量

E27F/E28F 带蚀刻传感器的巴拉特龙加热电容压力计

E27H 0.02-100 托加热 （45°C） Baratron® 带蚀刻传感器的电容压力计

温度控制在 45°C，读数精度高达 0.12%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

蚀刻挡板传感器大大降低了副产物到达传感器的能力

E27F/E28F 带蚀刻传感器的巴拉特龙加热电容压力计

E28H 0.05-100 托加热 （100°C） 带蚀刻传感器的 Baratron® 电容压力计

温度控制在 100°C，读数精度高达 0.25%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

蚀刻挡板传感器大大降低了副产物到达传感器的能力

带蚀刻传感器的Baratron加热电容压力计

E29H 0.02-1000 托加热（45 或 100°C） 带蚀刻传感器的Baratron®电容压力计

温度控制在 45°C 或 100°C，读数精度高达 0.12%

0 至 10 VDC 模拟输出与绝对压力成比例

满量程范围低至 20 mTorr，可实现精确的低压测量

美国mks高性能压力传感器

DA02B.1TBAS21CV0     DA02B11TCES24C00     DA02B12TGAS28C00     DA02B12TGCS24C00     DA02B13TCES21C00

622D01TDE   622D02TBE   622D02TDE   622D11TBE   622D11TDE   622D12TBE

622D12TDE   622D13TBE   622D13TDE     DA02B     DA02B.1TBAS21CV0     DA02B11TCES24C00     DA02B12TGAS28C00

DA02B12TGCS24C00