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产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,电子,制药 |
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微波等离子清洗去胶技术
Q150微波等离子去胶清洗机概述:Q系列等离子清洗机是石英腔的微波等离子系统,可以安装到超净间墙上。该系列的微波等离子系统可以用于批处理,也可以作为单片处理,系统为计算机全自动控制的系统。典型工艺包含:大剂量离子注入后的光刻胶去除;干法刻蚀工艺的前处理或后处理;MEMS制造中的牺牲层去除。
Q150微波等离子去胶清洗机工艺参数:
系统控制:
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