三维轮廓仪

轮廓仪概述

三维轮廓仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式。能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如 透明，平坦，黑暗，扁平，弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。

三维轮廓仪组合

白光干涉仪

旋转盘共聚焦显微镜

暗视野显微镜

明视野显微镜

主要平台规格

产品规格

标准电动平台150x150mm（可选210x310mm）

标准转塔，电动转塔可选

垂直范围可达100mm

倾斜阶段6度

XY平台分辨率0.1um

自动拼接楷模

Sigma头 - 仅限白光干涉仪

Lambda头 - 白光干涉仪+共焦+暗场+明场

应用

●粗糙度  ●体积磨损   ●台阶高度   ●薄膜厚度   ●形貌

测试图像示例

        DLC涂层球                                 粗糙涂层表面                                     圆球磨斑

        金刚石                                         生物膜                                         微流体通道

聚合物涂层                                        墨痕                                               硬币

研磨垫                                        铝的失效痕迹                                    划痕

涂层失效痕迹                                       芯片通道                                        晶圆

以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。