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X-Y:250×150mm(正像型AZ,另加2500)
投影屏Φ300mm,X-Y:150×100mm,数显分辨率1μm,角度1’物镜10×(选20×,50×),投影筒升降(正像型AZ,另加2500)
投影屏Φ300mm,X-Y:150×50mm,数显分辨率1μm,角度1’物镜10×(选20×,50×),工作台升降(正像型Z,另加2500)
X-Y:200×100mm(正像型AZ,另加2500)
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