美国mks高性能压力传感器

一、美国mks高性能压力传感器介绍：  

（1）MKSBaratron®DA01BDeviceNet绝对电容压力计是一款双输出绝对真空传感器，具有DeviceNet™™数字通信和传统的0-10VDC模拟输出信号。提供加热和非加热版本。  

（2）未加热或控制至45°C、80°C或100°C  

（3）设备网络™通信和与压力成比例的0-10VDC输出  

（4）满量程范围为1000至1托（未加热），1000至0.1托/毫巴  

（5）全焊接铬镍铁合金和铬镍铁合金®传感器，具有耐腐蚀性  

二、美国mks高性能压力传感器原理应用：  

（1）DA02BEtherCAT®Baratron®电容压力计继续将高性能发展到网络系统中，使用行业标准的EtherCAT数字通信连接到复杂的过程工具。基于经过验证的627C和628C以太网配备Baratron产品，EtherCATBaratron压力计符合当前的SEMI®EtherCAT通用设备配置文件，设计用于高级处理系统；  

（2）未加热或控制至45°C、80°C或100°C，以太网CAT®通信和0-10VDC输出与压力成比例，满量程测量范围为0.1至1000Torr（13.3Pa至133.3kPa）；  

（3）全焊接铬镍铁合金和铬镍铁合金®传感器，具有耐腐蚀性；  

（4）Baratron®622D非加热绝对电容压力计是MKS最新的模拟电容式高性能真空和压力传感器。它需要±15VDC输入电压，并提供与压力成线性的高电平0-10VDC模拟输出信号；  

（5）0至10VDC比例模拟输出，带接线端子，直接测量腔室总压力，与气体类型无关，长期输出稳定性，实现工艺可重复性，铬镍铁合金和铬镍®合金®基本传感器结构，高过压限制确保系统事故期间的可靠性，以读数百分比，以获得最佳准确性并提高工艺产量；  

（6）DA01B0.1-1000托加热和未加热Baratron®装置净电容压力计，未加热或控制至45°C、80°C或100°C，设备网络™通信和与压力成比例的0-10VDC输出，满量程范围为1000至1托（未加热），1000至0.1托/毫巴；  

（7）DA02A巴拉特龙醚类0.1至1000托加热电容压力计，DA02B0.1-1000Torr加热和未加热Baratron®EtherCAT®电容压力计，未加热或控制至45°C、80°C或100°C；  

（8）以太网CAT®通信和0-10VDC输出与压力成比例，满量程测量范围为0.1至1000Torr（13.3Pa至133.3kPa）  

DA06A带EtherCAT®的3倍频程温控压子®电容压力计，3倍频程测量减少了对多个压力计的需求；  

（9）符合真空计的最新SEMI®EtherCAT®设备配置文件，温度控制在45°C、80°C或100°C，600系列加热绝对压压子电容压力计，624H1-1，000托，加热（45°C）带跳变点的绝对压子®电容压力计；  

（10）温度控制在45°C，读数精度为0.12%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例，两个可调过程跳变点继电器  

600系列加热绝对压压子电容压力计，625H1-1000Torr，加热（100°C）带跳变点的绝对压子®电容压力计，温度控制在100°C，读数精度为0.25%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例。  

三、两个可调过程跳变点继电器，627F/628F加热绝对压压子电容压力计，627H0.02-25，000托，加热（45°C）绝对压子®电容压力计，温度控制在45°C，读数精度为0.12%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比，满量程范围低至20mTorr，可实现精确的低压测量，627F/628F加热绝对压压子电容压力计，628H0.05-25，000托，加热（100°C）绝对压子®电容压力计，温度控制在100°C，读数精度高达0.25%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例，满量程范围低至50mTorr，用于精确的低压测量，600系列加热绝对压压子电容压力计，629H0.02-25，000托，加热（45或100°C）绝对压子®电容压力计，温度控制在45°C或100°C，读数精度高达0.12%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例，满量程范围低至20mTorr，可实现精确的低压测量，E27F/E28F带蚀刻传感器的巴拉特龙加热电容压力计，E27H0.02-100托加热（45°C）Baratron®带蚀刻传感器的电容压力计，温度控制在45°C，读数精度高达0.12%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例，蚀刻挡板传感器大大降低了副产物到达传感器的能力，E27F/E28F带蚀刻传感器的巴拉特龙加热电容压力计，E28H0.05-100托加热（100°C）带蚀刻传感器的Baratron®电容压力计  

温度控制在100°C，读数精度高达0.25%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例，蚀刻挡板传感器大大降低了副产物到达传感器的能力，带蚀刻传感器的Baratron加热电容压力计，E29H0.02-1000托加热（45或100°C）带蚀刻传感器的Baratron®电容压力计，温度控制在45°C或100°C，读数精度高达0.12%，0至10VDC模拟输出与绝对压力成比例，满量程范围低至20mTorr，可实现精确的低压测量  

四、高性能压力传感器型号分类：  

（1）DA02B.1TBAS21CV0DA02B11TCES24C00DA02B12TGAS28C00  

（2）DA02B12TGCS24C00DA02B13TCES21C00  

（3）622D01TDE622D02TBE622D02TDE622D11TBE622D11TDE622D12TBE  

（4）622D12TDE622D13TBE622D13TDEDA02BDA02B.1TBAS21CV0  

（5）DA02B11TCES24C00DA02B12TGAS28C00DA02B12TGCS24C00