美国mks P 系列高性能质量流量控制器

美国mks  P 系列高性能质量流量控制器

P4B 是下一代多气体/多量程质量流量控制器，旨在满足对准确性和响应速度的关键气体流量控制要求，同时最大限度地减少质量流量控制器库存要求。P4B MFC 多气体/多量程功能可通过已存储在内存中的气体参数启用，为用户选择的气体提供 1% 的设定点精度，并且能够实现从 5 sccm 到 50 slm 的满量程范围。

流速从 5 到 50，000 sccm

多气体/多量程，设定点精度为 1%

模拟量 I/O：0 至 5 VDC

数字I/O：设备网络，RS485

MFM 选项

流程步骤短性能

P4B 的性能能力在需要短工艺步骤的情况下迅速显现出来，因为控制时间低于 750 毫秒，精度在设定点的 1% 以内。这种性能适用于工艺气体的范围，无论是氦气等“轻"气体还是SF6等“重"气体。

多气体/多量程能力

通过设备的嵌入式软件和标准以太网接口，无需特殊软件，只需标准网络浏览器和PC，即可轻松利用多气体/多量程功能。已经存储在设备上的是半导体行业目前使用的大多数气体的关键气体参数。选择气体并配置设备的范围很简单。通过此接口，用户还可以在设备运行时执行设备监控诊断。

美国mks  P 系列高性能质量流量控制器

P9B 压力不敏感型多气体/多量程质量流量控制器在从“轻"气体（如氦气）到 SF6 等“重"气体的各种工艺气体中，控制时间不到 750 毫秒，精度在设定点的 1% 以内。P9B 是真正的多量程/多气体 MFC，能够实现 5 sccm 至 50 slm 满量程流速，从而最大限度地减少 MFC 库存要求。

流速从 5 到 50，000 sccm

对压力不敏感，带集成压力传感器

多气体/多量程，设定点精度为 1%

模拟量 I/O：0 至 5 VDC

数字I/O：设备网络，RS485

流程步骤短性能

P 系列高性能 MFC 采用全数字控制架构，可在可操作器件范围内快速响应设定值。嵌入式 Web 浏览器应用程序允许更改气体类型和满量程流量，从而通过最大限度地减少必须保存在库存中的 MFC 的数量和种类来降低总体成本。

P9B 的性能在需要短工艺步骤的情况下迅速显现出来，因为控制时间低于 750 毫秒，精度在设定点的 1% 以内。这种性能适用于工艺气体的范围，无论是氦气等“轻"气体还是SF6等“重"气体。P9B 是一款真正的多量程/多气体 MFC，使用户能够对该器件的功能充满信心，并最大限度地减少 MFC 库存要求。

多气体/多量程能力

通过设备的嵌入式软件和标准以太网接口，无需特殊软件，只需标准网络浏览器和PC，即可轻松利用多气体/多量程功能。已经存储在设备上的是半导体行业目前使用的大多数气体的关键气体参数。选择气体并配置设备的范围很简单。通过此接口，用户还可以在设备运行时执行设备监控诊断。