日立扫描电镜

日立扫描电镜是一款功能极其强大的分析仪器，可用于表征纳米材料的表面以及进行微观分析。 TESCAN MAGNA采用 Triglav™ 型 SEM 镜筒，具有超高的分辨率，在低电压下尤为明显；镜筒内探测器系统具有电子信号过滤能力，可以获得更好的图像衬度和表面灵敏度。此外， TESCAN MAGNA 配备肖特基场发射电子枪，能够提供高达 400 nA 的束流，同时 Triglav™型 SEM 镜筒所具备的出色性能和高稳定性，为微分析和长耗时样品的分析应用提供了很好的条件。

日立扫描电镜低电压下的优异性能和所能获得的各种图像衬度，使得它非常适用于不导电样品的成像，如陶瓷、无涂层生物样品，以及在半导体工业和新材料研究中应用越来越普遍的光敏样品。 TESCAN MAGNA  使用了全新的 TESCAN Essence™ 软件，用户界面友好，可以满足各类应用需求，可定制的布局以及自动化的样品制备功能，大限度地提升了操作便捷性和工作效率

日立扫描电镜解决方案
TESCAN *的 Triglav™型 SEM 镜筒具有三物镜系统 TriLens™ ，与同类设备相比功能更多样化。UH-resolution 物镜提供的超高分辨率非常适合于形貌细节观察，使研究人员能够更好的分析纳米级样品。全新的高分辨 Analytical 物镜可实现无漏磁成像，是磁性样品观察和分析（EDS, EBSD）的理想选择。第三个物镜可以实现多种模式观测，并对束斑形状进行优化，进而改善成像和分析性能。