目录:孚光精仪(中国)有限公司>>光学精密机械类>>精密位移台>> FPSMAR-pod115.25六轴并联定位台
产地类别 | 进口 | 产品种类 | 电动 |
---|---|---|---|
价格区间 | 面议 | 应用领域 | 化工,石油,电子,航天,电气 |
六轴并联定位台115.25采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联运动机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
六轴并联定平台115.25采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。
六轴并联定位台115.25规格参数分辨率<1nm
大负载:250g (0.25N)
大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造(根据用户要求)
大垂直载荷Fv:2.5N
大水平力Fh:1.25N
定位器尺寸:115 x 101.4 x 25 mm3
重量:约400克
行程范围:
x- 11 mm
y -11 mm
z -5 mm
Θx:18 °
Θy:20°
Θz:37 °
带纳米传感器-S闭环
小增量(x,y,z):1nm
小增量(Θx,Θy,Θz):1urad
重复精度(xyz全行程):±200 nm
重复精度(Θxyz全行程):±10urad
重复精度(1mm行程@xyz):±15 nm
材料和真空可选项目
纳米级距离编码传感器
非磁性材料(NM)
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六轴并联定位平台应用案例