真空电控位移台 返回列表页

真空电控位移台是为真空环境设计的真空电控位移平台,电控真空位移台和电控真空位移台,广泛用于真空环境的电控位移定位操作应用。
真空电控位移台采用真空兼容步进电机。使用M6螺钉，可搭建成 二维XY系统。采用角架2AB175V，还可搭建XZ二维垂直位移台系统和XYZ三维系统，还可以采用光学底板3UBP175V直接安装到光学平台上。
真空电控位移台配套高度真空兼容Sub-D接口连接器,具有9或15针连接器。连接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外壳是不锈钢，适用于真空度高达10^-6毫巴和温度高达110°C的环境。
真空电控位移台特点
窄型型材设计节省安装空间
超级紧凑设计方便安装使用
分辨率高达 0.31 µm (1/8步模式)
导轨精度高
丝杆螺距是0.5 mm
可以搭建成XYZ三维系统
真空电控位移台装置
真空电控位移台 高度真空Sub-D连接器的规格：
真空：10-6毫巴
主体材料：DEP
温度范围：- 55°C至110°C
针材质：镀金铜合金
提供其他大小的连接器和真空密封装置。
真空电控位移台规格
丝杠螺距    0.5 mm
全步进分辨率    2.5 µm
zui大速度        5 mm/s
载重量
    水平             8 kg
    立式             3 kg
真空，乇         10-6
电机连接器        DB9（M）
步进电机         VSS42
装配
     X-Y             直接
     Z             2AB175V
    平面        3BP175V
控制器推荐          8SMC4-USB
                              8SMC3-RS232
速动限位开关              双端开关
      类型                        推动“关闭"