AE-100M 苏州万濠白光干涉仪 AE-100M

苏州万濠白光干涉仪 AE-100M

苏州万濠白光干涉仪 AE-100M产品用途：
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点和微尺寸检测。应用领域包含：玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。

产品特点:
● 纳米深度3D检测
● 高速、无接触量
● 表面形状、粗糙度分析
● 非透明、透明材质皆适用
● 非电子束、非雷射的安全量测
● 低维护成本

专业级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）：
● 提供多功能又具友好界面的3D图形处理与分析
● 提供自动表面平整化处理功能
● 提供高阶标准片的软件自校功能
● 深度、高度分析功能提供线性分析与区域分析等两种方式
● 线性分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Roughness）与起伏度
● （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer）
● 区域分析方式提供图形分析与统计分析
● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能
● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出

高速精密的干涉解析软件(ImgScan)：
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高速的分析算法则，让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台X、Y、Z位置数字式显示，使检测目标寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得*的干涉条纹对比
● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
● 具有自动补点功能
● 可自行设定扫描方向

技术规格参数：