产品推荐:气相|液相|光谱|质谱|电化学|元素分析|水分测定仪|样品前处理|试验机|培养箱


化工仪器网>技术中心>选购指南>正文

欢迎联系我

有什么可以帮您? 在线咨询

光学式膜厚计概述-朝日分光OMD-1000

来源:深圳市秋山贸易有限公司   2020年12月22日 16:27  

什么是OMD-1000?

这是一台光谱膜厚监测仪,用于监测在用单色光进行气相沉积过程中基板上的光量变化。它也用在我们自己的气相沉积设备中,并作为膜厚监测设备完成,该设备具有气相沉积零件制造商的专有技术。 

 

概述

全波长范围

在传统型号中,波长选择是滤光片类型,但是新产品结合了我们久经考验的光谱仪,现在可以选择任何波长。
膜厚变化的信号是从电压输出到与个人计算机兼容的数字输出,控制机制是从手动操作到个人计算机的命令控制。此外,通过将薄膜厚度计主体通过I / F直接连接到个人计算机来控制其厚度成为可能,这是一个非常紧凑的系统,无需像其他制造商那样的控制器。

特征

  • 分光镜设计紧凑
  • 通过提高抗噪声性(静电放电测试耐受电压±5 kV)实现高度可靠的膜厚度监控
  • 可以通过PC的命令自动控制
  • 通过将控制器合并到接收器主体中来实现高性价比

车身配置和接线

产品概要

它连接到气相沉积设备上,以监控薄膜厚度。可以如右图所示进行安装。

反射型监视

透射式监控
(弯曲探照灯)

透射式监控
(直接连接到泛光灯)

商品构成

接收者

泛光灯

电源箱

高架法兰
*包含在反光镜盒中


反光镜盒


透射镜盒

■产品规格

型式OMD-1000
光谱仪类型Zellny Turner类型单单色
波长范围保证范围:380至900 nm可操作
范围:350至1100 nm
波长分解能狭缝0.5mm:4.2nm [546nm]
狭缝1.0mm:8.3nm [546nm]
波长精度±1.0纳米
小波长进给0.1纳米
外部控制RS232C
外部输出端子DC0-2V(满量程)
采样间隔100ms以上
静电放电试验耐电压±5kV(实际8kV)
光源12V100W卤素灯
光强度稳定性±0.1%/h 以下
输入电压AC100V 50/60赫兹
允许输入电压AC85〜132V
视在功率340VA以下
使用环境温度 10~35℃
湿度 20~80%

*请注意,产品规格和外观如有更改,恕不另行通知。

免责声明

  • 凡本网注明“来源:化工仪器网”的所有作品,均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明“来源:化工仪器网”。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
  • 本网转载并注明自其他来源(非化工仪器网)的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品第一来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618