AE-100M 白光干涉仪AE-100M

AE-100M白光干涉仪AE-100M的详细资料：白光干涉仪AE-100MAE-100产品用途 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含产品特点● 奈米深度3D检测● 高速/无接触量● 表面形状/粗糙度分析● 非透明/透明材质皆适用● 非电子束/非雷射的安全量测● 低维护成本专业级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析● 提供自动表面平整化处理功能● 提供高阶标准片的软件自校功能● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度● （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer）● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出高速精密的干涉解体软体（ImaScan）● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹● 垂直高度可达0.1nm● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果● 垂直扫描范围的设定轻松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利● 具有手动/自动光强度调整功能以取得*的干涉条纹对比。● 具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择。● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌。● 具有自动布补点功能● 可自行设定扫描方向技术规格参数型号AE-100M移动台（mm）平台尺寸100*100 ，行程13*13物镜放大倍率10X20X50X观察与量测范围0.43*0.320.21*0.160.088*0.066光学分辨率（um）0.90.690.5收光角度（Degrees）172333工作距离7.44.73.4传感器分辨率640*480像素机台重量（kg）/载重kg20kg/小于1kgZ轴移动范围45mm , 手动细调Z轴位置数字显示器分辨率1um倾斜调整平台双轴/手动调整 高度测量测量范围100（um）（400um ,选配）量测分辨率0.1mm重复精度≤ 0.1％ （量测高度:>10um）≤10um（量测高度1um 10um）≤ 5nm（量测高度:<1um ）量测控制自动扫描速度（um/s）12（zui高） 光源光源类型仪器用卤素（冷）光源平均使用寿命1000小时100W 500小时（150W）光强度调整自动/手动 数据处理与显示用计算器*处理运算屏幕双核心以上CUP影像与数据显示屏幕17 " 双晶屏幕操作系统Windows XP（2）电源与环境要求AC100 --240 V 50-60Hz环境震动VC-C等级以上 量测与分析软件量测软件ImScan量测软件具VSI/ PVS/PSI 量测模式（PSI量测模式需另选配PSI模块搭配）PosTopo 分析软件分析软件ISO 粗燥度/阶高分析，快速传利业转换和滤波，多样的2D和3D观测视角圆，外形/面积/体积分析，圆像缩放、标准影像文件格式转换报表输出，程序教导量测等。