【化工仪器网 展会报道】2023年3月1日-3月3日，第十三届中国国际纳米技术产业博览会(以下简称纳博会)在苏州国际博览中心顺利举行。作为中国大规模极具影响力的纳米技术应用产业交流盛会，本次纳博会展出面积达20000平方米，内容涵盖纳米新材料、微纳制造、第三代半导体、分析检测、纳米生物医药、纳米技术应用等多个领域，纵向覆盖纳米技术产业链条，为企业提供技术展示、产品推广的平台，为客户提供一个与企业面对面洽谈交流的机会。展览期间，会场还设有多场主题大会，来自各个企业、机构及高校的专家学者共聚纳博会分享、交流经验。
 

　　3月2日，由胜科纳米((苏州)股份有限公司 、中国半导体行业协会MEMS分会、苏州纳米科技发展有限公司主办的第五届纳博会分析测试应用论坛在主会场B1展区会议室1顺利召开。会议以国际领先的分析仪器为基础，依托科研人员独创性的分析方法与对仪器、产品、材料及工艺的深刻理解，为工业界解决实际生产过程中迫在眉睫或悬而未决的问题，进行技术和案例的分享与研讨。
 

　　此次会议邀请了湖南越摩先进半导体有限公司总经理谢建友、上海光源中心副主任李爱国、蔡司显微镜业务拓展经理黄承梁、南开大学讲席教授罗锋、国家纳米科学中心研究员葛广路、赛默飞世尔科技(中国)有限公司EFA商务拓展经理唐涌耀、牛津仪器科技(上海)有限公司应用科学家马岚、日立科学仪器(北京)有限公司经理张希文、中国科学院半导体研究所教授级高级工程师钮应喜等业界专家参与，为与会观众带去了一场场别开生面的专题报告。
 

　　会议伊始，胜科纳米(苏州)股份有限公司董事长李晓旻首先以会议主办方的身份发表了致欢迎词，随后带来本次会议的第一场报告《从分析检测赛道看半导体行业周期》。
 

报告人：胜科纳米(苏州)股份有限公司董事长李晓旻
 

　　湖南越摩先进半导体有限公司总经理谢建友尽管无缘现场，依旧以线上讲座的方式带来报告《SiP先进封装行业的技术现状及发展趋势》。
 

报告人：湖南越摩先进半导体有限公司总经理谢建友
 

　　会议的第三场报告由上海光源中心副主任李爱国带来，标题为《集成电路器件同步辐射无损表征方法》。
 

报告人：上海光源中心副主任李爱国
 

　　上午的最后一场报告为蔡司显微镜业务拓展经理黄承梁带来的《化合物半导体的先进失效分析技术》。
 

报告人：蔡司显微镜业务拓展经理黄承梁
 

　　报告结束后是圆桌会议的环节，来自南开大学的教授罗峰、胜科纳米(苏州)股份有限公司的董事长李晓旻、中国科学院半导体研究所的高级工程师钮应喜、赛默飞世尔科技(中国)有限公司的高级商务总监Sherry Zhu围绕半导体行业中分析测试的发展前景与机遇展开了深入的讨论。也让观众更加期待下午的报告。
 

圆桌会议环节
 

　　下午，罗峰教授首先进行报告，报告题为《超精密制造与集成电路工艺与装备》。
 

报告人：南开大学讲席教授罗峰
 

　　随后，来自国家纳米科学中心研究员葛广路带来了《纳米材料测试标准》。
 

报告人：纳米科学中心研究员葛广路
 

　　下午的第三场报告由赛默飞世尔科技(中国)有限公司EFA商务拓展经理唐涌耀带来，题为《提高失效分析成功率-赛默飞整体解决方案助你一臂之力》。
 

报告人：赛默飞世尔科技(中国)有限公司EFA商务拓展经理唐涌耀
 

　　第四场报告由牛津仪器科技(上海)有限公司应用科学家马岚带来，题为《牛津仪器EDS和EBSD在半导体表征中的应用进展》。
 

报告人：牛津仪器科技(上海)有限公司应用科学家马岚
 

　　简单的茶歇之后，来自日立科学仪器(北京)有限公司的经理张希文带来了《日立电镜产品助力最先进半导体产业》。
 

报告人：日立科学仪器(北京)有限公司经理张希文
 

　　钮应喜高级工程师则作为压轴，带来了《碳化硅缺陷表征以及其对器件性能的影响》。
 

报告人：中国科学院半导体研究所教授级高级工程师钮应喜
 

　　负责收尾的是胜科纳米(新加坡)副总裁华佑南，他以线上报告的形式带来了《X-射线能谱(EDS)、X-射线光电子能谱(XPS)和俄歇电子能谱(AES)分析技术研究和在半导体芯片设计、晶圆制造和先进封装中的应用》，为活动画上了圆满的句号。