凯视迈 KC系列光谱共焦三维精密测量显微镜产品手册

凯视迈 KC 系列光谱共焦显微镜，集显微镜、轮廓仪、粗糙度仪功能于一体，一台设备完成形貌观测、三维扫描、尺寸量化检测。核心采用非接触式光谱共焦技术，Z 轴分辨率达 2nm，适配金属、晶圆、薄膜、高分子等全材质，高反光、透明件、陡峭曲面均可稳定成像，无触针划伤样品风险。

设备基于光谱共焦测量原理，Z 轴分辨率高达 2nm，测量过程无需对样品进行喷金、染色等预处理。解决了传统光学设备痛点：面对低反射、哑光、深色、透明薄膜、陡峭斜面等难测样品，依旧可以稳定采集完整三维数据。采用纯光学非接触式检测，测量探头不触碰工件表面，不会划伤、压损试样，特别适合软质材料、超薄薄膜、精密易损零部件的检测。

系统搭载高精度直线电机位移平台，运行平稳，支持大视场图像拼接与深度合成，可实现大面积样品连续扫描。配套自研专业测量软件，操作直观，一键完成数据采集与分析，自动输出高度差、轮廓曲线、Ra/Rz 粗糙度、体积、面积、台阶高度等量化检测报告，自动化程度高，支持产线批量质检与实验室科研表征。

产品适配多行业检测需求，广泛用于半导体晶圆与封装、3C 电子元器件、光学薄膜、新能源材料、医疗器械、精密加工零部件、新材料科研等场景，可完成工艺研发、样品形貌表征、产品缺陷检测、出厂质量管控等工作。作为国产精密光学测量方案，KC 系列兼顾性能与性价比，为科研院所与工业企业提供稳定可靠的三维精密检测解决方案。