美国mks真空计的选型指南

美国mks真空计的选型指南mks真空计测量低于大气压的气体压强的工具称为真空计。也叫真空规。凡能从其本身测得的物理量（如液柱高度、工作液、比重直接计算出气体压力的称真空计，这种mks真空计测量精度较高，主要用作基准量具。mks真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性（如热传导、电离、粘滞性和应变等）与压力的关系间接测量，其测量精度较低，而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用真空计标定和校准后方能用作真空测量。美国mks真空计但它能直接读出被测压力，使用方便，在实际应用中占绝大多数。mks真空计需要测量的压力范围为105～10-11帕，甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到*真空（小于10-10帕）的全范围测量,因而有多种真空计。zui常用的有U形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计，以及可以连续测量的复合真空计。美国mks真空计的选型特点：
低成本传感器的替代方案
紧凑型系统设计，将电路与传感器集成与一体
由于传感器具有快速的、准确的和可重复性的压力测量，从而缩短了工艺周期时间。
拥有清洁的、牢固的设计和不锈钢结构，因此传感器适合于环境严苛的工艺
易于操作，具备模拟输出和数字通信功能
由设定点继电器获得的工艺控制具有快速的响应时间。
美国mks真空计的主要参数：
测量范围：0.1至1000Torr
精度（10-1000Torr）：±1%读数
重复性：±0.3%读数
电源要求：9至30VDC < 1.2W美国mks真空计的选型指南