超纯水标准
中用水标准GB6682-2008
名称 | 一级 | 二级 | 三级 |
PH值范围(25℃) | - | - | 5.0-7.5 |
电导率(25℃),mS/m ≤ | 0.01 | 0.10 | 0.50 |
比电阻(MΩ.cm.25℃)≥ | 10 | 1 | 0.2 |
可氧化物质[以(0)计],mg/L | - | 0.08 | 0.40 |
< 吸光度(254nm,1cm 光程)≤ | 0.001 | 0.01 | - |
蒸发残渣(105±2℃),mg/L≤ | - | 1.0 | 2.0 |
可容性硅[以(sio2)计],mg/L< | 0.01 | 0.02 | - |
中电子超纯水标准GB/T1146.1-1997
指标 | EW-I | EW-II |
电阻率MΩ.cm(25℃) | 18以上(95%时间)不低于17 | 15(95%时间)不低于13 |
硅≤?g/l | 2 | 10 |
>1?M微粒数≤个/ml | 0.1 | 5 |
细菌个数≤个/ml | 0.01 | 0.1 |
铜≤?g/l | 0.2 | 1 |
锌≤?g/l | 0.2 | 1 |
镍≤?g/l | 0.1 | 1 |
钠≤?g/l | 0.5 | 2 |
钾≤?g/l | 0.5 | 2 |
氯≤?g/l | 1 | 1 |
硝酸根≤?g/l | 1 | 1 |
磷酸根≤?g/l | 1 | 1 |
硫酸根≤?g/l | 1 | 1 |
总有机碳≤?g/l | 20 | 100 |
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