半导体设备韩国LS中空轴APM-HB03HBH-SV

韩国迈克彼恩Mecapion ，其前身为韩国麦特斯Metronix 株式会社成立于1995年，于2007年3月份正式更名为迈克彼恩Mecapion，是韩国zui大的自动化设备及机械装置方面的核心部件即旋转编码器、伺服系统等产品的开发研制、生产、销售和售后服务的高新技术企业，并获得了ISO9001质量体系认证。产品已广泛应用于冶金、电机、电梯、轻工机械、喷绘、纺织、半导体等行业，在韩国电机驱动和运动控制行业处于。其中伺服控制技术，在整合了欧系和日系伺服系统的各自优点的基础上不断进行创新和开发，使得伺服产品日益完善。 

迈克彼恩Mecapion 拥有伺服电机、编码器以及伺服驱动器等核心技术的自主开发能力，先进的开发技术加上的制造工艺使得迈克彼恩Mecapion 的产品有很好的性价比，能够满足不同行业用户的应用要求。

伺服产品功率从30W到37KW范围广，电机法兰大小从40到220，编码器反馈可以选择增量型和值型，电机轴输出形式多样供用户选择。的性能和选择的多样性，使得迈克彼恩Mecapion 伺服产品可以充分满足各种行业的需要，得到了越来越多的用户的认可和支持。同时供货期短，服务专业细致，也成为了迈克彼恩Mecapion 产品在市场中强有力的核心竞争力。

开发完成半导体设备8‘’及12‘’晶圆用 spinner电机适用于涂胶，显影及清洗工程

实现率瞬间加速特性-100.000rps以上

可根据客户的要求，定做各种SPinner电机

按照客户的要求提供多种中空轴

采用磁性流体密封，强化耐环境性

表面进行特殊涂布处理，强化耐腐蚀性

应用范围：

　　1，半导体制造工业

　　2，设备应用

　　A.曝光显影设备(涂胶，显影)光刻加工程序的主要设备及掌控涂层，曝光，显影。

　　B.清洗、蚀刻设备用于蚀刻，清洗，去膜设备。

　　C.清洗设备适用于物理冲洗清洁、颗粒清洗刷子、声控及喷雾工艺。

　　技术含量

　　设备条件

　　高转速(5000rpm~8000rpm)真空轴

　　加/减速时间冷却系统(水冷系统)

　　低噪音和振动zui低公差

　　中空轴尺寸zui小化处理按照客户需求柔性定制

　　采用重叠设计是尺寸zui小化

LS中空轴APM-HB03HBH-SV图片

半导体设备韩国LS中空轴APM-HB03HBH-SV