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能量色散X荧光光谱采用脉冲高度分析器将不同能量的脉冲分开并测量。高分辨率光谱仪通常采用液氮冷却的半导体探测器，如Si（Li）和高纯锗探测器等。能量色散X射线荧光光谱仪可分为具有高分辨率的光谱仪，分辨率较低的便携式光谱仪，和介于两者之间的台式光谱仪。低分辨便携式光谱仪常常采用正比计数器或闪烁计数器为探测器，它们不需要液氮冷却。近年来，采用电致冷的半导体探测器，高分辨率谱仪已不用液氮冷却。
非色散谱仪不是采用将不同能量的谱线分辨开来，而是通过选择激发、选择滤波和选择探测等方法使测量分析线而排除其他能量谱线的干扰，因此一般只适用于测量一些简单和组成基本固定的样品。
编辑本段
全反射X荧光光谱仪
同步辐射光激发X射线荧光光谱、质子激发X射线荧光光谱、放射性同位素激发X射线荧光光谱、全反射X射线荧光光谱、微区X射线荧光光谱等较多采用的是能量色散方式。
当α1<α临界时，界面就象镜子一样将入射线全部反射回介质1中，这就是全反射现象。如果n1>n2，则介质1相对于介质2为光密介质，介质2相对于介质1为光疏介质。对于X射线，一般固体与空气相比都是光疏介质。所以，如果介质1是空气，那么α1>α2（图2.20右图），即折射线会偏向界面。如果α1足够小，并使α2=0，此时的掠射角α1称为临界角α临界。
分析的元素范围广，从4Be到92U均可测定；
X射线荧光光谱法有如下特点：
荧光X射线谱线简单，相互干扰少，样品不必分离，分析方法比较简便；
分析样品不被破坏，分析快速，准确，便于自动化。
析浓度范围较宽,从常量到微量都可分析。重元素的检测限可达ppm量级，轻元素稍差；
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