超真空干燥箱真空泵配置要求

超真空干燥箱（极限真空≤10⁻⁴ mbar）的真空泵配置需满足以下核心要求：

一、真空泵选型组合要求

‌1.多级泵组合‌

必须采用‌罗茨泵+旋片式油泵‌串联方案：

罗茨泵负责快速抽取大流量气体（抽速≥100L/s），作为主增压单元‌。

旋片油泵作为前级泵提供基础真空（极限真空≤10⁻³ mbar），支撑罗茨泵高效运行‌。

2.‌防污染设计‌

若处理腐蚀性/挥发性样品（如酸雾、有机溶剂），需选用‌全PTFE涂层泵体‌的防腐蚀机型，避免阀片腐蚀失效。

非腐蚀性场景可配置常规旋片泵，但需加装‌冷阱或过滤装置‌防止油蒸气回流污染样品。

二、关键性能参数

1.极限真空；≤10⁻⁴ mbar；需罗茨泵组实现超高真空环境‌。

‌2.抽气速率‌；≥100L/s（罗茨泵）；容积>100L时需更高抽速。

‌3.温度兼容性‌；5℃~40℃运行环境；避免低温结冰或高温宕机。

三、安装与操作规范

‌1.连接流程‌

超真空干燥箱→真空橡胶管→‌罗茨泵进气口‌→罗茨泵排气口→‌旋片泵进气口‌，确保全管路密闭‌。

2.‌防倒吸措施‌

停机时‌先关真空阀‌→‌再关罗茨泵‌→‌最后关旋片泵‌，防止泵油倒灌‌。

箱内需加装‌隔阻网‌，避免粉末样品吸入泵体‌。

‌3.维护要求‌

旋片泵需定期‌更换专用真空泵油‌（建议500小时/次）‌。

长期停用需排空泵油并清洗油路。

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