Technomate增压泵型号及介绍

1. KPM 系列

• KPM-5030
• 排气压力：
• 外形尺寸：W470×D800×H370mm
• 重量：110公斤
• No1：4MPa，流量12L/min
• No2：2MPa，流量3L/min
• 产品概要：可同时排放两个不同压力的独立输出，适用于CSP等的切割、去毛刺等操作，一台设备即可完成。放电操作由外部信号独立执行。
• 规格：
• 用途：CSP划片、去毛刺等。
• KPM-40B
• 排气压力：No1 4MPa，流量12L/min；No2 2MPa，流量3L/min
• 外形尺寸：W470×D800×H370mm
• 重量：110公斤
• 产品概要：一种内置气动柱塞泵的高压水发生装置，适合安装在集气压调节器、气压表、排气压力表等为一体的装置中。
• 规格：
• 用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。

2. KPW 系列

• KPW-20
• 纯水、IPA：FKM
• NMP：Kalrez
• 排气压力：0.98~9.8MPa
• 排出流量：1.13L/min
• 驱动气压：0.05~0.5MPa
• 耗气量：约70L（泵冲程数为60SPM时）
• 湿密封：
• 用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
• KPW-30
• 纯水、IPA：FKM
• NMP：Kalrez
• 排气压力：1.47~14.7MPa
• 排出流量：0.71L/min
• 驱动气压：0.05~0.5MPa
• 耗气量：约70L（泵冲程数为60SPM时）
• 湿密封：
• 用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。
• KPW-37.5
• 纯水、IPA：FKM
• NMP：Kalrez
• 排气压力：1.76~17.6MPa
• 排出流量：0.58L/min
• 驱动气压：0.05~0.5MPa
• 耗气量：约70L（泵冲程数为60SPM时）
• 湿密封：
• 用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。

3. FSBL 系列

• FSBL-50
• 纯水、IPA：氟橡胶
• NMP：Kalrez
• 排气压力：2.5~25MPa
• 排出流量：1.68L/min
• 驱动气压：0.05~0.5MPa
• 先导气压：0.3~0.5MPa
• 湿密封：
• 用途：用于晶圆IPA清洗、溶剂剥离等高压喷射清洗。

4. PU 系列

• PU300A
• 外部切断动作时溢流阀自动切换内部循环溢流动作压力0.5MPa
• 循环水温上升检测动作温度50℃
• 过电流/漏电保护功能断路器动作
• 泵：级联不锈钢泵，400W
• 排出流量：13L/min（50Hz）/16L/min（60Hz），在0.5MPa压力下
• 适用流体：纯净水
• 遥控功能：水泵运行/停止指令，DC24V
• 安全操作：
• 电源：AC200V ±10%，3Φ，50/60Hz，1.2kVA
• 外形尺寸：W228×H336×D520mm
• 重量：约25公斤
• 使用环境：室内，温度10~35℃，湿度30~80%
• 用途：各种清洗设备、切粒机主轴电机冷却、去毛刺等。
• PU201A
• 外部切断动作时通过泄压阀自动切换内循环泄压动作压力5Kgf/cm²
• 循环水温上升检测动作温度50℃
• 过电流/漏电保护功能断路器动作
• 泵：级联不锈钢泵，200W
• 排出流量：17L/min（50Hz）/9L/min（60Hz），在4Kgf/cm²压力下
• 适用流体：纯净水
• 遥控功能：水泵运行/停止指令，DC24V
• 安全操作：
• 电源：AC100V ±10%，50/60Hz，8A
• 外形尺寸：W210×H245×D390mm
• 重量：约15公斤
• 用途：各种清洗设备、切粒机主轴电机冷却、去毛刺等。

5. SSBL 系列

• SSBL-20
• 用途：用于晶片IPA清洗或利用溶剂的剥离等高压应用。
• SSBL-37
• 用途：用于晶片IPA清洗或利用溶剂的剥离等高压应用。

6. UPPU 系列

• UPPU-10LR
• 用途：用于需要低水压供应水并进行增压的设备。