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聚焦光伏行业应用系列三---英福康氦气检漏黄金组合

来源:杭州太昊科技有限公司   2025年07月16日 16:55  

聚焦光伏行业应用系列三---英福康氦气检漏黄金组合

在光伏产业向高效化、智能化转型的关键期,INFICON 作为全球真空测量与薄膜控制领域的技术**者,正以多元化产品矩阵重塑太阳能制造的底层逻辑。从钙钛矿电池量产突破到真空环境精密控制,从薄膜沉积技术到全流程协同优化,我们将通过系列文章,逐层拆解 INFICON 不同产品与技术在太阳能制造中的深度应用

系列第三篇

本文是继 INFICON 薄膜沉积控制技术,真空测量方案后的第三篇文章,揭秘氦气泄漏检测实践在太阳能领域的深度应用


太阳能电池技术飞速发展,晶体硅电池效率持续突破,钙钛矿电池加速崛起。CVD/ALD/PVD等关键设备极大优化了电池性能,但设备泄漏问题成为重大挑战。以PECVD设备为例,泄漏会导致反应腔内气体成分和压力失控。在HJT(异质结)电池制造中,这将造成非晶硅钝化层生长不均,使电池的开路电压和填充因子下降,光电转效率可降低不少。

聚焦光伏行业应用系列三---英福康氦气检漏黄金组合

面对如此严峻的泄漏挑战,INFICON推出由UL系列检漏仪(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能喷枪和I-BOOST加速系统组成的氦气检漏方案,为设备真空系统提供保障。

UL系列检漏仪:给光伏设备做 “全身 CT” 的精密仪器

INFICON的UL系列(UL1000/3000/6000)检漏仪堪称检漏界的 “精密大师”,检测精度可达 10⁻¹²mbar・l/s,能够精准捕捉到极其细微的泄漏。无论是高真空环境,还是中低真空区域,它都能从容应对,为不同工艺环节的设备提供可靠的检测数据。

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SMART-Spray智能喷枪:灵活的“漏点侦察兵”

SMART-Spray摒弃了传统的软管连接,用无线设计,配备可充注微型氦气瓶(HeliCan)能够轻松深入PECVD/PVD设备缝隙等传统手段难以触及的区域,极大地提高了检测的灵活性和覆盖范围让漏点无处遁形。

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同时,它具备精准定量喷射功能,可根据实际需求精确控制氦气喷射量,避免因氦气过量或不足影响检测结果。其集成的 1.8 英寸彩色显示屏能实时显示漏率数据,配合遥控器,操作人员无需靠近危险或高温区域,就能远程操控检测过程,既提高了检测效率,又保障了人员安全。

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I-BOOST:检漏仪的“超级加速器”

以前给 PECVD 腔体检漏像等公交车,得熬很长时间才能出结果。现在 I-BOOST 一启动,就像给检漏仪装上了火箭引擎。这个“超级引擎”改变了传统检测大容积腔体耗时长的局面。它通过优化算法和硬件,将氦气响应速度提升数倍能在极短时间内快速捕捉泄漏信号。

聚焦光伏行业应用系列三---英福康氦气检漏黄金组合

聚焦光伏行业应用系列三---英福康氦气检漏黄金组合

结语

INFICON这套黄金组合不仅是检漏工具,更是工艺控制与效率突破的技术枢纽:

UL系列实现全量程覆盖,量化压力波动数据;

1,SMART-Spray 无线精准定位漏点;

2,I-BOOST 极速响应,使真空检测从“事后排查”升级为“实时智能调控”。

3,在光伏迈向TWh时代的进程中,它们以**真空精度,支撑TOPCon、HJT、钙钛矿等新一代电池技术的产业化高度,浇筑可持续发展的“真空基石”。

下预告】文章的下期内容:英福康RGA四级质谱在线分析技术在太



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