干货分享 | 如何高效率进行高效过滤器DOP检漏

高效过滤器泄漏检测的主要目的是检查过滤器及其安装部位的密封性，及时发现并修补泄漏点，确保洁净室的洁净度。泄漏的过滤器会影响整个洁净室的洁净程度，因此检测是确保洁净室性能的关键步骤。

不同的滤料和不同的滤速最轻易穿透微粒的粒径是不同的，MPPS检测方法就是采用最易穿透粒径来检测效率的方法。常见的粒子计数器检测法，光度计检测方法（也称DOP法，或PAO法）都是MPPS方法。

两者的区别在于，光度计能够记录所有粒径范围内的粒子质量浓度，而粒子计数器测试高效过滤器上游的高浓度气体，需要外接稀释器进行气溶胶稀释，使操作变的复杂且耗时，如不接稀释器直接测试高效过滤器上游粒子数，很容易造成粒子计数器的污染甚至损坏。

使用粒子计数器测量过滤器前后粒子的数量，计算过滤效率。这种方法需要的设备灵敏度非常高，且此方法适用于检测微小泄漏，计算耗时长且成本较高，所以普遍被行业认可的光度计法不仅检测方便且能被众多客户所接受。

一、气溶胶光度计检测法

采用DOP（PAO）发生器在过滤器上游发尘，使用光度计检测过滤器上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否有泄漏。发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用气溶胶光度计在不发尘的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。

人工气溶胶DOP已有近40年历史，一段时间以来，因被怀疑对人有致癌作用，现常以DOS、DEHS及PAO等代替，但实验方法仍称“DOP（PAO）法”。

ISO14644-3(2019)气溶胶光度计法

过滤器上游气溶胶浓度：过滤器上游气溶胶的浓度应在1mg/m3～100mg/m3之间。并非所有光度计都能使用1mg/m3作为上游气溶胶浓度挑战。

• 各过滤器上游气溶胶浓度测量值不应超过平均测量值的15%。低于平均浓度，可能会降低轻微泄露的敏感性。高于平均浓度，可能会增加轻微泄露的敏感性。

扫描探头尺寸：推荐使用1cm×8cm的矩形探头，或直径为3.6cm的圆形探头。

扫描速度：探头横向扫描速率约为5cm/s。

完整性测试接受标准

扫描过程中，出现任何大于或等于指定泄漏限值的测量结果，都应把扫描探头保持在泄漏位置。泄漏位置应通过保持气溶胶光度计最大读数的探头位置来确定。

• 超出过滤器上游气溶胶浓度0.01%的泄漏被视为超过最大允许泄露限值；所以，可接受标准常表达为：≤0.01%。

• 对于过滤效率(MPPS)在99.95%(H13) ~ 99.995%(H14)的过滤系统，可接受标准为≤0.1%。

• 对于过滤效率(MPPS)低于99.95%的过滤系统，供需双方协商确定验收标准。

二、如何让检测更加高效

1.测试仪带着电源“小尾巴”移动困难

• 多个房间移动时需要拔插，找最近的接口，但光度计停电后需要重新进行校零点和上游浓度检测；

气溶胶光度计3991匹配锂电供电，可满足全天测试需求，气溶胶发生器3990-01是一款便携外接气源即可发尘的设备，该组合设备可解决测试仪带着电源“小尾巴”，移动困难的需求。

2.安装效果很好，就是测试不通过

遇到此情况需要了解检测背景环境是否清洁，安装过程对静压箱是否清洁，尤其是缝隙部位，要进行清洁后再进行检测。

3.红外扫描代理人工录入

测试人员只需通过电脑条形码生成软件，将生成得条形码逐一贴在被测高效过滤器得旁边，在每次检测过程中，均可自动扫描条形码信息，便可自动录入ID信息 ，大大节省了检测得时间。