了解晶圆接触角测量仪的工作过程

晶圆接触角测量仪主要用于评估晶圆表面润湿性、涂层均匀性及清洁度等关键参数，其应用场景包括半导体制造、材料研发、表面处理等领域‌。

晶圆接触角测量仪通过测量液滴在晶圆表面形成的接触角来评估表面性质。具体步骤如下：

1、液滴形成：利用精密进液系统将微量测试液体（如水、有机溶剂）精确滴加至晶圆表面，液滴体积通常控制在几微升至几十微升之间。

2、光学成像：高分辨率光学系统（如显微镜、CCD或CMOS相机）捕捉液滴图像，确保细节清晰可见。

3、图像分析：通过图像处理软件对液滴轮廓进行预处理（如灰度化、二值化、边缘检测），并采用圆法、椭圆法或切线法等算法计算接触角。

优势：

1、高精度测量：角度分辨率可达±0.01°，重复性误差小于±0.5°，能够准确捕捉微小接触角变化。

2、非接触式检测：避免传统接触式测量对晶圆表面的潜在损伤，尤其适用于高精度半导体制造场景。

3、快速测量：支持多位置连续滴液与自动化测量，单次检测时间缩短至秒级，大幅提升生产效率。

4、多液体兼容性：可测试水、有机溶剂、酸碱溶液等多种液体，全面评估表面润湿性与化学稳定性。