水浸超声显微镜主要用于对材料内部缺陷进行无损检测

来源：上海玖横仪器有限公司 2025年06月11日 15:55

　　水浸超声显微镜 (SAM)是一种利用超声波在液体中传播的特性，对材料内部结构进行高分辨率成像的无损检测设备‌。它广泛应用于需要无损检测、内部缺陷分析或微观结构观察的场景，特别是在半导体与电子行业、材料科学与研发、汽车与航空航天制造等领域有着重要的应用‌。

　　水浸超声显微镜通过超声探头发射超声波束，经过液体耦合介质(通常为水)抵达工件上表面，形成上表面反射波。超声波束穿过工件时，遇到材料内部的缺陷(如裂纹、缝隙、空洞等)会形成不同的反射波与折射波。通过收集这些波并进行分析，可以得到材料内部的超声强度图像，从而准确判断缺陷的位置、面积和占比等数据‌。

　　水浸超声显微镜的主要配置包括工业电脑、采集分析软件、超声换能器(探头)、工控机、水循环系统、不锈钢框架结构及运动模组等。其中，超声换能器是决定超声波频率的关键器件，其频率范围一般在10MHZ至2000MHZ之间。

　　应用场景

　　‌半导体与电子行业‌：用于芯片封装检测、晶圆检测和电子元器件失效分析。例如，检测芯片与基板间的焊接质量、晶圆键合质量评估、电容、电阻等被动元件的内部裂纹检测等‌。

　　‌材料科学与研发‌：用于复合材料检测、金属与合金检测以及纳米材料与薄膜分析。例如，检测碳纤维增强聚合物的分层、金属焊接接头的内部缺陷、纳米涂层厚度测量等‌。

　　‌汽车与航空航天制造‌：用于汽车零部件检测和航空航天结构件检测。例如，检测发动机缸体/缸盖的铸造缺陷、飞机涡轮叶片的冷却孔堵塞、复合材料机翼的冲击损伤等‌。

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