深国安氯气检测仪在半导体行业的应用

半导体制造涉及清洗、蚀刻、光刻等多道工艺，其中含氯化学品（如三氯化硼、四氯化硅）的使用广泛。这些工艺过程中，若氯气（Cl₂）未反应或发生泄漏，将直接危害人员健康与设备安全。根据《GBZ 2.1-2019 工作场所有害因素职业接触限值》，氯气的8小时加权平均容许浓度（TWA）仅为0.5ppm，短时间接触容许浓度（STEL）为1ppm；当浓度超过10ppm时，30分钟暴露即可致命[²]。此外，氯气若未有效处理直接排放，还会腐蚀设备、污染大气，违反环保法规。因此，对氯气的实时监测与精准管控，是半导体企业安全生产与环保达标的核心需求。

针对半导体行业高湿、微腐蚀、需24小时连续监测的复杂环境，深国安电子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯气检测仪，从硬件到功能均进行了专项优化[⁵]：

• 防爆抗腐，适应严苛环境：设备采用工业级铝合金防爆外壳（防爆等级ExdⅡCT6 Gb），搭配IP67防护设计与纳米涂层技术，可抵御酸雾、水汽的侵蚀；针对半导体车间可能存在的高温环境（如800℃工艺段），还可选配专用高温探杆，确保稳定运行[⁵]。

• 高精度检测，数据可靠：内置国外进口电化学传感器，配合32位纳米级微处理器与24位超高ADC采集芯片，支持ppb级精度检测；全量程温湿度补偿功能，避免环境温湿度波动对数据的干扰，保障长期监测的稳定性[²]。

• 智能联动，风险快速处置：设备支持4-20mA、RS485等多种信号输出，兼容90%以上PLC、DCS等上位机系统；内置2组无源触点继电器，当氯气浓度超标（如超过0.5ppm TWA）时，可自动联动风机、喷淋系统或切断阀，实现“检测-报警-处置”闭环，将泄漏风险控制在萌芽状态[⁸]。

• 远程管理，提升运维效率：通过GPRS、WIFI等无线传输技术，监测数据可实时上传至深国安物联网平台，管理人员通过手机APP或电脑即可远程查看浓度曲线、历史记录及报警信息；设备还具备智能校准提醒、传感器寿命预警等功能，减少人工巡检成本