【高斯摩分享】什么是扫描电子显微镜？

扫描电子显微镜通过高能电子束扫描样品表面，生成纳米级分辨率图像，并搭载EDS（能谱仪）实现元素分析，是化工材料微观表征的顶级工具。

技术原理

• 电子光学系统：场发射电子枪（冷场或热场）提供高亮度电子束。

• 信号检测：二次电子（SE）与背散射电子（BSE）成像，揭示样品形貌与成分差异。

• 联用技术：EDS探测器（如牛津仪器X-MaxN）可同步进行元素面分布分析。

化工领域应用

• 催化剂研究：观察活性金属颗粒的分散度与载体结构。

• 高分子材料：分析共混材料的相界面结合状态。

• 涂层检测：评估防腐涂层厚度与孔隙率。

核心优势

• 超高分辨率：SU9000型号分辨率达0.4nm（30kV）。

• 低电压观测：1kV以下低加速电压减少对非导电样品的损伤。

• 自动化功能：自动对中、图像拼接、3D表面重构。

选型要点

• 电子枪类型：冷场发射（高分辨率）或热场发射（稳定性优先）。

• 样品室尺寸：适配块状、粉末或薄膜样品（最大可至200mm晶圆）。

• 扩展功能：可选配EBSD（电子背散射衍射）用于晶体结构分析。

维护与校准

• 每日开机前执行电子枪预热与束流稳定程序。

• 每月清洁样品室，避免粉尘污染探测器。

• 每年由厂商进行光轴校准与真空系统维护。