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泓川科技LT-R 系列白光干涉测厚仪：纳米级精度丈量新维度

来源：无锡泓川科技有限公司 2025年05月26日 06:29

在高DUAN制造与精密检测领域，膜层厚度的精准把控直接决定产品性能与工艺水平。泓川科技重磅推出的LT-R 系列反射膜厚仪（白光干涉测厚仪），以光学技术革新与智能算法突破为核心，为半导体、显示面板、光伏能源等行业提供兼具纳米级精度与复杂环境适应性的膜厚测量解决方案。以下从技术特性、性能参数、应用场景及选型指南等维度，全fang位解析这款工业级精密测量利器。

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一、技术革新：宽光谱光源与抗干扰系统的双重突破

▌组合光源技术：全光谱覆盖，解析多层膜结构

光源配置：采用氘灯（190-400nm 紫外光）与卤素灯（350-2500nm 可见光 / 近红外光）组合方案，光谱范围横跨紫外到近红外，覆盖 190-2500nm 全波段。
测量逻辑：通过宽光谱反射光干涉信号分析，结合高效模型拟合算法，可同步反演单层 / 多层透明膜层厚度及光学常数（如折射率），尤其适用于 LCD 液晶层、光学镀膜等复杂结构。

▌抗干扰设计：硬件与算法协同，保障极DUAN环境稳定性

硬件级降噪：选用高灵敏度、低噪声光学元器件，从信号采集端抑制干扰源。
算法级抗扰：DU创多参数反演算法，可有效抵消振动、温湿度波动等外部扰动，确保测量结果重复性≤0.05nm。
结构优化：紧凑型光学系统设计，支持狭小空间安装（如生产线夹缝），且防护等级达 IP40，适应粉尘、电磁干扰等工业环境。

▌智能软件生态：从数据采集到二次开发的全流程支持

WLIStudio 上位机软件：集成暗校准、反射率归一化、光源特性补偿等功能，实时呈现测量曲线与厚度数据，兼容多格式导出。
WLI-SDK 开发包：开放底层数据接口，支持用户自定义测量逻辑，无缝集成至自动化检测系统或 MES 平台。

二、性能参数：纳米级精度定义行业新标准

核心指标	弥散光斑型（LT-IVP-T10-UV-VIS）	聚焦光斑型（LT-IRVP-TVF）
测量范围	20nm~50μm（n=1.5 时）	同左
重复精度	0.05nm（100nm SiO₂标准件，1000 次采样）	同左
准确度	<±1nm 或 ±0.3%（取最大值）	同左
光源波长	190-2500nm（氘灯 + 卤素灯组合）	同左
测量角度	±10°（建议恒定）	±5°（建议恒定）
光斑特性	10mm 距离时直径约 4mm（大面积覆盖）	直径约 200μm（微米级聚焦）
安装距离	5~10mm（灵活适配）	轴向 55mm±2mm / 径向 34.5mm±2mm（需精准定位）
物理尺寸	φ6.35×3200mm（含线），重 190g	φ20×73mm（探头），附加镜 49g
环境耐受	10~40℃，20%-85% RH（无冷凝）	同左

三、功能亮点：多场景适配的工业级测量方案

▌核心功能矩阵

多层膜厚同步测量：支持 2-5 层透明 / 半透明膜结构（如 OLED 有机层、PCB 阻焊层）的厚度与折射率解算，单次测量即可完成全层分析。
硬质薄膜兼容：针对陶瓷涂层、电镀层等硬质材料，优化光学反射模型，避免接触式测量损伤风险。
非接触式检测：纯光学反射原理，适用于柔性材料（如锂电池电极涂布层、生物芯片薄膜），杜绝物理接触形变误差。

▌行业应用图谱

半导体与光伏：

硅片 Poly 层厚度监控，光刻胶膜厚均匀性检测；
太阳能电池减反膜、钝化层厚度测量，助力效率提升。

显示面板制造：

LCD 液晶盒厚、偏光片膜层测量，保障显示对比度；
OLED 蒸镀层厚度实时监测，优化发光均匀性。

精密涂布与喷涂：

汽车油漆涂层厚度检测，电子器件防水膜均匀性分析；
锂电池极片涂布厚度在线测量，提升电池一致性。

科研与特种领域：

纳米材料研发（如石墨烯薄膜）、光学器件镀膜工艺优化；
生物医学领域（如细胞培养支架涂层厚度分析）。

四、选型指南：精准匹配场景需求的两大方案

应用场景	推荐探头类型	核心优势	安装要点
大面积快速扫描	弥散光斑型（LT-IVP-T10）	光斑覆盖广，安装距离灵活（5-10mm）	需保持测量角度≤±10°
微小区域精密测量	聚焦光斑型（LT-IRVP-TVF）	微米级光斑，精度更高（±5° 测量角度）	需严格控制轴向 / 径向安装距离
定制化远距检测	聚焦光斑型（定制款）	工作距离可扩展至 35-200mm（需提前预定）	联系销售团队确认光学附件配置

五、结语：以光学创新驱动制造升级

泓川科技LT-R 系列白光干涉测厚仪，凭借宽光谱光源技术、抗干扰系统设计及智能化软件生态，重新定义了工业膜厚测量的精度边界。其紧凑的体积与灵活的集成能力，既适用于实验室研发的精密分析，也可无缝嵌入生产线实现在线检测。无论是半导体芯片的纳米级工艺控制，还是显示面板的微米级膜层均匀性管理，这款设备均能以可靠的数据支撑，助力企业实现工艺革新与品质跃升。

关键词：白光干涉测厚仪、泓川科技、纳米精度、多层膜检测、工业级抗干扰、半导体量测

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