KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特点

无油洁净：采用无油干式设计，无需油封，避免了油蒸汽对环境和工艺的污染，特别适合在对洁净度要求的洁净室环境以及敏感工艺中使用，如半导体制造、液晶显示器生产、LED 制造和光伏产业等。

高抽速、低能耗：运用优化的 Roots 转子结构，能提供高达 1660L/min 的稳定抽速，可满足中高负载的真空需求。同时配备低功耗电机，运行能效比优于同类产品，功率约 0.25kW，在实现高效抽气的同时降低了能耗。

结构紧凑：尺寸为 450×230×275mm，体积小巧，重量约 60kg，占地面积小，便于集成到空间受限的自动化设备或成套系统中，适合设备集成和改造项目。

维护便捷：部件寿命长，维护周期长，且采用易于维护的设计，降低了维护成本和停机时间，能有效减少运营成本。

适配性强：可兼容多种工艺气体环境，适用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、刻蚀、封装等多种半导体及相关行业的工艺流程，具有很强的通用性和适应性。