【高斯摩分享】什么是干涉仪？

干涉仪是一种通过测量光照射到物体时发生的干涉现象来测量物体的表面形状、折射率和尺寸的装置。

干涉现象是多个波叠加并相互增强或抵消时产生新的波形。当波来自同一源或具有相同或相似的频率时，这一点最为明显。

干涉仪有不同类型，例如迈克尔逊干涉仪、马赫-曾德尔干涉仪和斐索干涉仪。

干涉仪用途

干涉仪的主要用途是对玻璃、金属、陶瓷等平板等物体表面进行非接触式观察。例如，玻璃产品包括智能手机盖板玻璃、液晶玻璃、分色光学系统中使用的棱镜和半导体掩模基板，金属产品包括模具和铝盘。

此外，还可以测量电子设备用半导体器件中使用的硅晶片、硬盘基板等特殊物品。射电干涉仪还用于使用射电望远镜进行天文观测。

干涉仪原理

主干涉仪将光源发出的光分成两束，使一束光束穿过样品并与另一束干涉。此时，光学距离根据透射样品的折射率和距离而变化，并出现干涉条纹图案。

通过用干涉仪分析干涉条纹图案，可以测量测量样品的表面形状和透射波前形状。用干涉仪可以测量的尺寸最多只有几厘米到十几厘米。如果测量样品较大，可能需要采取切割等措施。

干涉仪类型

干涉仪包括可测量平面玻璃、晶圆和镜子等抛光表面的干涉仪，以及可测量光学透镜、钢球和塑料透镜等球面的干涉仪。还有在 2 轴或 3 轴上进行测量的多轴干涉仪，这些多轴干涉仪可以实现更节省空间和高灵敏度的测量。

激光扫描干涉仪还可以测量平面以外的表面，例如圆柱面。用于测量玻璃、光纤端面、陶瓷、金属磨削面、注塑塑料等。种类有很多种，需要根据用途来选择。