KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP1200E的特点

无油干式运行：采用无润滑油机械结构，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适用于对洁净度要求场合，如半导体制造、液晶显示制造等。

抽气能力强：最大抽速可达 20,000L/min，能快速有效地抽取气体，可满足不同应用场景对真空度的需求。

极限真空度高：极限压力可达到 0.1Pa 甚至更低，能够提供高真空环境，满足如半导体工艺中一些对真空度要求严苛的工艺步骤。

氮气吹扫功能：支持氮气吹扫，氮气流量可在一定范围内调节，通常能在 0 至 60SLM 范围内，增强了工艺的灵活性，可用于一些需要对腔体进行吹扫或保护的工艺。

高效节能：通过优化机械结构和采用新型加热器系统等措施，实现了低功耗化，功率一般为 1.05kW 左右，相比一些传统真空泵能耗更低。

小型化设计：外形尺寸较为紧凑，例如 MUP1200E 的尺寸约为 820×380×655mm，机身小巧，节省安装空间，便于集成到各种设备或系统中。

冷却水需求低：冷却水流量仅需约 2L/min，对冷却系统的要求不高，可降低运行成本和设备复杂度。

安全可靠：符合工业安全标准，配备高安全性防护设计，如过载保护、过热保护等装置，能在各种工况下稳定运行，减少故障和意外发生的可能性。

产品兼容性好：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，能与其他型号的樫山真空泵或相关设备搭配使用，以满足不同规模和复杂程度的真空系统需求。

应用领域广泛：适用于化工、电子 / 电池、半导体制造、实验室等众多领域，可用于晶圆加工、蚀刻、镀膜等关键工艺的真空环境控制，以及高纯度实验环境及腐蚀性气体处理。