对于真空度的标识通常有两种方法:
一是用“压力”、“真空度”(即比“理论真空”高多少压力)标识;
在实际情况中,真空泵的压力值介于0~101.325KPa之间。压力值需要用压力仪表测量,在20℃、海拔高度=0的地方,用于测量真空度的仪表(真空表)的初始值为101.325KPa。(即一个标准大气压)
二是用“相对压力”、“相对真空度”(即比“大气压”低多少压力)来标识。
真空行业通用的“真空度”,也是zui科学的是用压力标识;指得是“极限真空、真空度、压力”,但“相对真空度”(相对压力、真空表表压、负压)由于测量的方法简便、测量仪器非常普遍、容易买到且价格便宜,因此也有广泛应用。
常用的真空度单位有Pa、Kpa、Mpa、大气压、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。近似换算关系如下:
1MPa=1000KPa
1KPa=1000Pa
1大气压=100KPa=0.1MPa
1大气压=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg
1大气压=14.5PSI
1KPa=10mbar
1bar=1000mbar
真空泵种类 | 起动压强(Pa) | |
1×105 | 活塞式真空泵 | 1×105~1.3×102 |
1×105 | 1×105—6.7×10-1 | |
1×105 | 水环式真空泵 | 1×105—2.7×103 |
1.3×103 | 罗茨真空泵 | 1.3×103—1.3 |
1.3—1.3×10-5 | 涡轮分子泵 | 1.3 |
1×105 | 水蒸气喷射泵 | 1×105—1.3×10-1 |
1.3×10-7 | 油扩散泵 | 1.3×10-2—1.3×10 |
<1.3×105 | 油蒸气喷射泵 | 1.3×10—1.3×10-2 |
1×105 | 分子筛吸附泵 | 1×105—1.3×10-1 |
6.7×10-1 | 溅射离子泵 | 1.3×10-3—1.3×10-9 |
1.3×10-2 | 钛升华泵 | 1.3×10-2—1.3×10-9 |
1.3×10 | 锆铝吸气剂泵 | 1.3×10—1.3×10-11 |
1.3—1.3×10-1 | 低温泵 | 1.3—1.3×10-11 |
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