KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特点

抽气速度快：最大抽气速度可达 20,000L/min。能快速抽取气体，可有效缩短抽气时间，提高工作效率，适用于对真空环境建立速度要求高的工艺。

极限压力低：极限压力为 0.5Pa，可提供高真空度，满足半导体制造、光学制造等对真空度要求苛刻的领域的需求。

耐腐蚀性强：采用垂直螺杆和特殊材料，通过结构材料和温度设定，使其具有高耐腐蚀性，能适应各种复杂的工艺流程和恶劣的工作环境，可应用于有腐蚀性气体的工艺中。

节能高效：属于节能型产品，通过优化参数和新型加热器系统与机械结构的优化，实现了低功耗化。如 SDE120TX 功率仅为 1.5kW，在提供高抽气性能的同时，降低了能源消耗，有助于降低使用成本。

运行稳定可靠：樫山工业在真空技术研究方面经验丰富，产品核心零部件采用高质量材料制造，设备的立式螺丝结构耐用，且对沉积物有较好的耐受性，能够长时间稳定运行，减少故障发生频率，提高设备的使用寿命。

电源适应性广：电源电压为三相 AC200 - 220V、380 - 480V，50/60Hz，可适应不同的供电环境，方便在不同地区和不同设备中使用。

工艺灵活性强：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，增强了工艺灵活性，可满足不同工艺需求。

产品兼容性好：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，例如可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用，能更好地满足不同用户的多样化需求。

小型化设计：以 SDE120TX 为例，外形尺寸为 695×285×820mm，机身小巧，节省安装空间，便于在空间有限的场所安装和使用。