KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特点
大抽速高效能:SDE303X 抽速可达 5,000L/min ,能够快速抽取气体,显著缩短达到真空环境的时间,大幅提升生产效率,在需要快速建立真空状态的工艺中表现出色,如半导体制造中的快速成膜工序。
节能设计:以 SDE303X 为例,消耗功率仅 1.5kW,在实现高抽速的同时保持低能耗,采用特殊的螺杆形状等节能技术,有效降低企业运营成本,契合当前工业节能的发展趋势。
良好的耐过程性:继承 SDE 系列耐过程特性,可适应复杂工艺流程。对于半导体、液晶制造等行业中存在腐蚀性气体、粉尘等恶劣工况,通过采用纵型螺杆和特殊材料,具备高耐腐蚀性,确保真空泵在恶劣环境下稳定运行,减少故障停机时间。
宽泛的压力范围:极限压力可达一定低值(虽未明确 SDE303X/TX 具体数值,但 SDE 系列其他型号如 SDE90X 极限压力为 1.3Pa ,SDE120TX 为 0.5Pa),可满足从粗真空到高真空等不同真空度要求的应用场景,无论是一般工业生产还是对真空度要求严苛的科研实验都能适用。
电源适配性强:支持三相 AC200 - 220V、50/60Hz 电源电压,能够适应不同地区的供电标准,方便在全球范围内安装使用,减少因电源问题导致的设备适配困难。
灵活的应用场景:在半导体制造中,用于芯片制造过程中的刻蚀、镀膜等环节,保障工艺环境的真空需求;在液晶制造领域,可用于液晶面板生产过程中的真空贴合、抽气等工序;在新能源行业,比如太阳能电池板生产,助力真空环境下的材料加工与组装,为新能源产业的高效生产提供可靠支持。
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