KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特点

抽速大：最大抽速可达 1500L/min，能快速抽取气体，可满足半导体、光电显示等行业苛刻工艺对真空效率的高要求。

极限压力低：极限真空度低至 1.3Pa，在不使用氮气吹扫的情况下也能维持高性能稳定运行，可提供高真空度环境。

干式运行：采用无油结构，避免了油污染风险，特别适用于洁净室环境和对纯度要求高的工艺。

结构可靠：垂直安装的双螺杆结构可有效防止颗粒堆积，延长泵体使用寿命，提高了运行的稳定性和可靠性。

耐腐蚀性强：配备高耐腐蚀材料与温控系统，能够适应处理腐蚀性和反应性气体，可在恶劣的工艺环境中稳定工作。

防止冷凝积碳：前级加热排气配管系统可防止冷凝和积碳，增强了系统的稳定性。

温度控制灵活：多级温控系统可根据不同应用调节泵体温度，提高了泵对不同工艺的兼容性。

环保性能好：除害装置联动接口支持等离子、燃烧、冷凝等除害方式接入，提升了环保性能，便于对排出气体进行处理。

便于监控：远程监控与报警系统可实时掌握泵体运行状态，便于系统集成与自动化管理，能及时发现并处理问题。

噪音低：运行时产生的噪音仅为 56dB（A），有助于营造相对安静的工作环境。