KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE90X的特点

大抽气速率：抽气速率为 58L/s，最大抽速可达 1300L/min，能够快速有效地抽取气体，适用于需要大排量抽气的应用场景，如大尺寸晶圆和 FPD 基板的处理。

节能：属于节能型产品，功率为 1.3kW，相比传统类型可降低 54% 的功耗，通过参数优化，在保证性能的同时实现了能源的有效利用。

极限压力低：极限压力可达 57Pa，能提供较高的真空度，满足对真空环境要求较高的工艺需求。

耐用性强：SDE-X 系列注重在恶劣工艺条件下的耐用性，采用耐腐蚀的结构材料并具备温度控制功能，可承受各种复杂的工艺流程，适合连续运转，减少故障发生频率。

适应性广：可通过各种设置来适应广泛的工艺需求，对于含有水蒸气或水滴的气体、易燃或腐蚀性气体等都能够有效排出。

噪音低、振动小：运行时产生的噪音和振动较小，有助于营造相对安静的工作环境，同时也减少了对周边设备和环境的影响。

维护方便：轴封采用机械密封，这种设计便于维护和保养，降低了维护成本和停机时间。

结构紧凑：外形尺寸为 370mm×557mm×690mm，重量为 32kg，整体结构紧凑、重量轻，便于安装和集成到各种设备中。