KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点

KASHIYAMA日本樫山真空泵SDH3000的特点

工艺耐性好：属于 SDH 系列，具有 Super Hirsch 对应和工艺耐性的特点，能适应各种复杂工艺环境。

无油干式设计：采用无润滑油机械结构，可避免介质污染，适用于如半导体晶圆制造等超洁净工艺环境。

氮气吹扫功能：支持氮气吹扫功能，氮气流量可在 0 至 80SLM 范围内调节，增强了工艺灵活性。

抽气能力较强：最大抽速可达 30,000L/min，极限压力为 0.5Pa，能快速有效地抽取气体，满足不同应用场景的真空需求。

高效节能：通过新型加热器系统与机械结构优化，实现低功耗化，功率为 3.3kW。

外形尺寸紧凑：长度为 910mm、宽度为 420mm，高度为 900mm，机身较为小巧，节省安装空间。

冷却水需求低：冷却水流量仅需 4.0L/min，对冷却系统要求不高，可降低运行成本和设备复杂度。

安全可靠：符合工业安全标准，配备高安全性防护设计，能在工况下稳定运行。

产品兼容性好：支持与同系列设备协同工作，可扩展应用场景，例如可与 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。

应用领域广泛：适用于化工、电子 / 电池、半导体制造、实验室等领域，可用于晶圆加工、蚀刻等关键工艺的真空环境控制，以及高纯度实验环境及腐蚀性气体处理。