新品发布丨氟化氢电化学气体传感器正式发布——HF/MI-10

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我们很高兴地宣布推出我们的高灵敏度HF/MI-10传感器。平均灵敏度为- 500 ± 150 nA/ppm，响应时间快，甚至可以很容易地检测到TWA水平范围内的痕迹。氟化氢是晶圆生产中用于蚀刻和清洁工艺的主要物质。由于其高毒性和腐蚀性，严格的监测至关重要！确保您的安全设备与HF/MI-10兼容。

氟化氢（HF）也是非常难操作的一个气体，客户在使用氟化氢传感器，进行标定和测试过程中同样会遇到各种各样的奇怪问题。 富安达智能带您，了解氟化氢这种气体的特性，掌握使用HF传感器的注意事项和技巧，各种问题就可以迎刃而解。

     1、请注意氟化氢传感器的输出电流是负的，和CO、H2S、NH3等传感器的输出电流相位正好相反。如果报警器或测试电路的输出相位不正确，可能导致表观上呈现对氟化氢不响应的假象。

      2、通气流量保持在1000毫升/分钟左右。 要用聚四氟乙烯（PTFE）通气罩通气，流量要稳定，标定和随后进行的验证测试必须保持流量稳定一致。不允许将管子直接对着传感器吹，这样操作气体浓度和流速都不稳定。

      3、必须使用腐蚀性气体专用减压器，即316L不锈钢减压器。如果使用铜质减压器，HF气体会和铜发生反应，HF浓度衰减，导致测不出HF。

      4、氟化氢极易溶于水形成氢氟酸，故很容易在减压器、阀门、通气管道、通气罩的表面吸附、反应，尤其是当标气浓度很低时（如常用的5-10ppm），真正抵达传感器表面的HF分子已接近零，从而严重影响标定和测量结果，甚至观察不到传感器的响应。这种现象在雨天和湿度高时尤其严重，因为高的湿度导致减压器、阀门、通气管道、通气罩的表面吸附了大量水分子，这些水分子与HF作用形成氢氟酸。因此建议多通几次气。通常第一次通气效果不会理想，要通气2到3次才会得到正常的传感器响应。

      5、由于HF气体分子很易吸附和作用，因此通气管道要用聚四氟乙烯管子。 通气系统要预先多通几次HF气体，最佳的效果是留HF气体在整个通气系统内，浸饱一段时间（几个小时至24小时），让HF分子与管道壁充分作用、吸附、饱和，然后再开始进行标定、测量的操作。

      6、对于化学性质活跃、易吸附的气体如HF、Cl2、HCl、H2S、O3等，通气系统的“死体积（Dead Volume）”一定要小。所谓“死体积”指从气体钢瓶的减压器出口、通过流量计、连接管道、到通气罩（包括通气罩）之间的容积总和。 理论上通3倍死体积的气体进入通气管路系统，且假设气体分子不和途经的管壁有任何吸附和作用，管路出口的气体浓度才能达到约90%的钢瓶内气体浓度；如果考虑气体分子的吸附和作用，出口处气体浓度就更低了。因此死体积要越小越好，否则死体积太大，传感器响应会出现虚假的“滞后”现象，表观上好像响应很慢，实际上是由于标准气先要充满和挤出这段死体积而造成的。减小死体积的方法是尽量用管径小的管子，管子长度越短越好，通气罩容积要尽量小并且设计合理，既能密闭气室，又能散气不积聚起气压。

综上所述，天气对氟化氢标定和测定有很大影响，建议最好在干燥的晴天进行标定。阴雨天由于湿度大，氟化氢分子会和水作用和吸附，影响标定结果，严重时甚至测不到信号。 这种现象南方比北方更严重，沿海和靠江湖地区比内地严重。

深圳市富安达智能科技有限公司（富安达智能，ASA）创立于2003年，是专业从事国际传感器应用硬件、软件及相关系统的应用设计、服务和销售服务的专业系统配套方案提供商，已成为中国传感器及整体解决方案的企业，在国内与多所高校和多个研究院所建立了长期紧密的技术合作关系,并与国内外多家公司建立了长远的战略伙伴关系。       

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