美国激光干涉仪API测量仪器信息

核心优势

• 优异精度：标准款激光干涉仪检测精度达 0.5ppm（0.5μm/m），能够满足众多高精度制造场景；XD Laser 系列的精密型更是将精度提升至 0.2ppm（0.2μm/m），适用于半导体制造、光学镜片研磨等对精度要求高的行业。

• 高效测量：以 XD Laser 6D 为例，一次安装即可同步完成定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角、滚动角等 6 项参数测量，相比传统设备效率大幅提升 80%。例如，1 米行程机床的全面误差检测，传统方法需要较长时间，使用 API 设备仅 3 - 4 小时便可完成。

• 便捷操作：仪器采用紧凑设计，全套系统轻巧便携。测量时无需三角架，可直接安装在机床导轨上，极大简化安装流程；集成化的干涉镜与激光器设计，减少复杂的光路调整步骤；部分型号支持 25 米以上无线遥控测量，方便操作人员在复杂工况下灵活使用。

• 良好环境适应力：内置自动气压与温度补偿系统，可实时校正环境变化对激光波长和测量结果的影响；多重数字滤波器有效抑制空气波动、温度梯度导致的测量误差，无论是恒温实验室还是温度、湿度变化较大的工业现场，均可稳定输出可靠数据。

• 功能丰富：API 激光干涉仪具备多样化的测量功能，1D 型号专注定位误差检测；3D 型号可测量定位误差与双向直线度误差；5D/6D 型号更能实现角度参数的全面测量。此外，XD Laser 系列还可对速度、加速度、振动等动态参数进行分析，为机床性能评估提供多维度数据支持。