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无尘室氮气柜是一种用于存储和管理敏感电子元件、半导体晶圆、精密仪器等物品的设备，能够提供一个无尘且低湿度的环境，以防止物品受到污染或氧化。这种设备通常使用纯净的氮气来置换柜内的空气中的氧气和水分，从而保持内部的环境稳定。工作原理基于氮气的特性，即不活跃、不易与其他物质反应。通过向柜内充入高纯度的氮气，可以显著降低柜内的氧气和水分含量，从而防止氧化和湿气对敏感物品的影响。同时，无尘室内的环境控制确保了柜外的污染物不会进入柜内，保护了内部的物品。
无尘室氮气柜的主要组成部分：
1.密封柜体：提供一个封闭的空间，以保持内部的无尘环境。
2.氮气供应系统：包括氮气瓶或氮气生成器，以及调节和输送氮气的管道和阀门。
3.控制系统：用于监测和调节柜内的温湿度、氮气流量和压力等参数。
4.HEPA过滤器：过滤进入柜内的空气中的微粒，确保无尘环境。
5.除湿装置：进一步降低柜内的湿度，防止潮湿对物品的影响。
操作流程：
1.将需要存储的物品放入氮气柜内。
2.关闭柜门并确保密封良好。
3.启动氮气供应系统，向柜内充入高纯度的氮气。
4.通过控制系统监测柜内的氧气和水分含量，确保达到所需的环境标准。
5.定期检查氮气柜的性能，包括密封性、过滤器的清洁度和氮气供应系统的运行状况。
无尘室氮气柜的维护与保养：
1.定期更换或清洁HEPA过滤器，确保无尘环境。
2.检查氮气供应系统，确保氮气的连续和稳定供应。
3.校准控制系统，确保准确的环境监测和调节。
4.检查柜体的密封性，防止外部污染物进入。
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