菲希尔荧光射线测厚仪XDL230信息

菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDL230元素与镀层测量

1. 元素测量范围：Cl（17）--U（92），最多可测量 24 种元素 23 层镀层。

2. 手动 X/Y 平台：移动范围≥95x150mm，可用工作台面≥420x450mm。

3. 电动 Z 轴：支持手动 / 自动聚焦，可移动范围≥140mm。

4. DCM 测量距离补偿法：可远距离对焦测量腔体样品，可达 80mm 深度。

5. 可变高压：满足 30KV、40KV、50KV 三种可调节，以适应不同测试需求。

6. 准直器：配备 φ0.3 的圆形准直器。

7. 测量误差：当镀层厚度≥0.5um 时，顶层镀层测量精度≤5%。

8. 基本参数法：内置 12 纯元素频谱库，可实现无标准片校准情况下测量。

9. MQ 值显示：用于判定测量程式是否与样品匹配，避免误操作。

10. 标准片：配备 12 种基准纯元素（Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr）。