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5810i 离子平衡顶置式鼓风机Simco-Ion 思美高
5810i 离子平衡顶置式鼓风机Simco-Ion 思美高
产品信息
5810i 型离子发生器鼓风机系统是一款高性能顶置式鼓风机，与外部传感器结合使用，可保持 +/- 1v 的离子平衡，适用于严格的静电控制过程。
特征
■与外部传感器（NOVX 3150/3350/3360/7000 等）
结合使用时可实现高精度 +/-1v 离子平衡
（不使用外部传感器时为 +/-3v）
■高洁净兼容性
■ 5802i、5810i、5822i 型离子发生器风机
专为在洁净室中使用而
设计，高度洁净且符合 ISO 4 级（联邦标准 209E 10 级）标准
■专有的自动离子平衡控制
可延长维护周期
■配备风扇停止警报
■可选的自动电极清洁机制
■
高可靠性和本地支持，并有 全球众多交付记录作为后盾
规格
| 输入电压 | 100-240V交流电+/-10% 50/60Hz |
|---|---|
| 外部的 | 铝上的环氧/聚酯粉末涂料 |
| 离子发生方法 | 稳态直流法 |
| 电极 | 钛合金8片/扇 |
| 风量 | 144cfm 典型值/风扇 风扇速度 = 高 |
| 除静电时间 | <3秒。 45cm距离。1kv→100v。晶圆厂速度 = 高 |
| 离子平衡 | <+/-1v 典型值（带外部传感器）+/-3v（不带外部传感器） |
| 尺寸 | -32：高96毫米 x 深155毫米 x 长813毫米 -40：高96毫米 x 深155毫米 x 长1016毫米 -44：高96毫米 x 深155毫米 x 长1118毫米 |
| 重量 | -44：铝制机身规格4.6kg |
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