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在半导体制造领域，温度控制的精度与稳定性直接影响芯片性能与良率。从光刻胶的均匀涂布到CMP研磨液的精密抛光，再到封装材料的可靠固化，工艺过程中每一度的偏差都可能影响最终产品品质。然而，传统温控设备能耗高、精度低、稳定性差，已成为制约半导体材料高效生产的“卡脖子”难题。普泰克（上海）制冷设备技术有限公司，聚焦半导体行业需求，以全流程温控解决方案与创新技术优势，助力企业实现更高效、更稳定的生产目标。
行业挑战
温度控制
控温精度不足：
传统设备在低温（如-15℃）工况下易出现温度回升现象，可能导致光刻胶形变或研磨液性能波动，影响工艺一致性。
1
效率低下：
传统控温设备能耗较高，且控温精度不足，可能导致原料浪费与生产成本增加。
2
解决方案
普泰克技术突破
普泰克以供热主机单元、管路系统、二级介质温控系统、膨胀系统、智能控制系统为核心，构建覆盖半导体全流程的温度管理网络，为行业提供可靠的技术支持。
普泰克温控系统技术优势
变频技术与节能：
采用变频技术，通过系统结构设计和自主控制算法，精准调节压缩机输出频率，满足制程需求的同时实现低能耗。
1
全密闭式系统：
全密闭设计，无油雾、无异味，导热液体使用寿命长。
2
快速加热与制冷：
参与循环的导热液体少，加热和制冷速度快。独立的制冷与加热单元，精确控制温度变化，热惯性小，响应速度快。
3
模块化设计：
结构紧凑，占地面积小，安装方便，移动便捷。
4
智能监控与诊断：
流量、泵压、温度等参数可以同时监控设定和控制，运行状态实时显示，故障自动诊断，具备多项报警保护功能。
5
控制重复性与稳定性：
基于高级动态控制系统，确保每次控制结果一致，提升生产稳定性。
6
自适应PID控制：
自适应PID算法，适应不同环境和负载，无需调整参数，实现最佳温度控制。
7
核心产品
半导体温控Chiller
01
PTS系列高精度冷热循环器
➤ 应用场景：光刻胶低温存储、CMP研磨液恒温供应
➤ 技术亮点：宽温域控制能力，支持高精度温度调节
02
PHE系列高精度换热温控单元
➤ 应用场景：封装材料固化、蚀刻液温度管理
➤ 技术亮点：快速响应温度变化，适配复杂工艺需求
为什么选择普泰克？
✅ 深耕半导体领域：服务半导体前、中、后道全流程工艺，覆盖八大核心制程设备。
✅ 定制化服务能力：依托模块化平台，提供标准化与个性化结合的解决方案。
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