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用电导率法进行测量。
电导率是一种重要的材料特性。电导率测量可提供有关金属特定电导率的信息，从而得出有关金属成分、微观结构和机械性能的结论。因此，在许多应用中，电导率是过程控制或产品监测的重要组成部分。
这就是电导率测量的工作原理。
相敏涡流探头由一个铁氧体磁芯和两个线圈组成。首先，励磁线圈中的电流会产生高频磁场（通常在千赫范围内）。这会在样品中产生涡流。
探头包含第二个线圈--测量线圈，用于测量交流电阻（阻抗）。探头阻抗受样品中的涡流影响，与激励电流（不含样品的探头）相比偏离相位（相位角 φ）。
相位角 φ 取决于薄膜厚度和材料的导电率。如果涂层或块状材料达到饱和厚度，则相位角将在仪器中与存储的特性曲线进行比较，并转换为电导率。
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